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关 键 词：武汉原装光谱共焦测量技术厂
行 业：仪器仪表 传感器 测距/距离传感器
发布时间：2021-04-27
光谱共焦技术测量原理
利用波长信息测量距离
由光源射出一束宽光谱的复色光（呈白色），通过色散镜头发生光谱色散，形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来，只有满足共焦条件的单色光，可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长，换算获得距离值。
主要型号参数
安装距离：11mm
量程：±200
线性度：±0.025%F.S.
分辨率：10nm
光斑：10um
安装距离：12.7mm
量程：±650
线性度：±0.025%F.S.
分辨率：20nm
光斑：12um
安装距离：19mm
量程：±2000
线性度：±0.025%F.S.
分辨率：40nm
光斑：20um
安装距离：24mm
量程：±5000
线性度：±0.025%F.S.
分辨率：300nm
光斑：25um
光谱共焦测量技术是非接触式测量晶片
ERT系列传感器适用于针对晶片和太阳能电池进行非常简单的高精度的间距测量和层厚度测量。这些光学传感器仅借助一个测量头即可对厚度小于 1 mm 的硅片进行非接触式厚度测量。 的厚度测定（至边缘区域）对于高的产品质量而言意义重大。ERT通过极小的测量点可以确保测量。 而 ERT系列传感器所能做到的远不止于此：测量化镓晶片、不透明的薄膜和多层系统。 坚固耐用的简单构造使其可以直接继承在生产流程中。 该设备当然也适用于实验室内低成本、高精度的层厚度测量
光谱共焦测量技术原理的优点：
全息性：理论上每一束返回光谱分析仪的光线都用它的波长携带了距离信息，部分光被遮挡影响小。
无阴影效应：光从四面八方照射到样品，激光原理一个方向被遮挡无法测量的区域，共焦更容易解决。
可以测量各种表面：镜面、弯曲或倾斜的镜面、粗糙面、透明、液滴表面等的测量都变得容易。
高分辨率：理论上波长可以无限细分，理想镜头具有无限分辨率。
温度稳定性好：镜头本身不发热，温度漂移小。对于微米以及亚微米级的测量，温度稳定是很关键的。
自动聚焦：在量程范围内，被测物的位置上下变动时都有相应的波长的光聚焦到物体表面。
横向分辨率高：测量光斑小，而且总是在焦点上，能分辨被测物上的微小轮廓变化。
模块化小型化：镜头和解码部分可以通过光纤连接，传输距离远，镜头可以做得很小。
调频抗干扰：波长是调频信号，对光强变化等调幅干扰不敏感。光纤对电磁干扰、雷电浪涌不敏感。
透明材料厚度测量：当被测物透明且有两个表面，就会有两个波长的光返回得到厚度值。
安全性高：长寿命的LED光源，微小功率的白光，比激光对人眼更安全，不受限于激光危害等级。
高防护：控制器高防护等级，光纤可提供不锈钢外套版本，防虫害鼠咬。
维护和服务：模块化光源，一分钟快速更换。国内技术和配套支持，保修、维护、校准方便。
光谱共焦测量技术的独特性能
1. 产品原理：全新的色散光谱共焦原理，可测量距离和厚度；
2. 任何材质和表面：包括镜面、玻璃、陶瓷、半导体、高光金属等表面均可进行纳米级测量；
3. 超高精度测量：小线性度可达0.03μm，高分辨率为0.3 nm；
4. 从100μm-42 mm的可选量程；
5. 超高采样频率：2K-60KHz，用于生产线，替代人工并提高合格率；
6. 测量范围极广，几乎无死角，解决激光三角法测量无法回避的因表面材质变化或倾斜而导致测量误差等问题，大可测倾角87度；
7. 可进行透明工件（LCD、LCM、手机摄像头等）多层厚度的测量，小可测量厚度为400 nm；
8. 可用于实验室的2D轮廓测量、3D微观形貌分析、表面粗糙度测量，到工业在线检测、自动化控制等。
