二、 3D光学轮廓仪的产品功能
1) 一体化操作的测量与分析软件，操作无须进行切换界面，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快
速实现批量测量功能。
2) 测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。
3) 测量中提供拼接测量功能。
4) 分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取模块的数据处理功能，其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。
5) 分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等分析功能，其中粗糙度分析包括依据国际标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能；几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能；结构分析包括孔洞体积和波谷深度等；频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能；功能分析包括SK参数和体积参数等功能。
固定式三维形貌测量仪
产品介绍
ST150型固定式三维表面形貌测量仪，采用国际的光谱共焦技术，可实现对材料表面微米、次微米级粗糙度检测，并且可以进行2D轮廓/3D微观形貌扫描分析，具有测量精度高，速度快，便于携带，重复性好的优点，该仪器可用于测量大尺寸样品，软件功能含括了点测量、线测量、面测量以及编程等强大的功能，可选模块包括2D&3D粗糙度检测与分析、2D轮廓测量与3D形貌分析、平面度检测、共面度检测、平行度检测。
仪器基本信息
功能与特性
测量具有非破坏性，测量速度快，精度高；测量范围广，可测透明、半透明、金属材料、高漫反射、低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…)；
尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面，漫反射表面大可达87度；
不受样品反射率的影响；
不受环境光的影响；
测量简单，样品无需处理；
光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
白光干涉3D轮廓仪的相关技术参数
主要性能指标
1. 仪器类型：非接触式光学轮廓仪；
2. 仪器技术：白光干涉技术；
3. Z方向扫描范围不可小于10µm；
4. XY方向扫描范围不可小于150mm；
5. 支持样品反射率在0.05%到之间变化；
6. Z方向聚焦要不小于100mm；
7. Z方向扫描速度不能小于47µm/sec；
8. Z 方向精度 < 0.01nm；
9. RMS重复性（PSI）< 0.01nm；
10. 能够提供多种FOV，从而让物镜放大倍率在5X到100X之间切换；
11. 在任何物镜倍率下都要达到亚埃级至毫米级垂直测量量程；
12. 支持高亮度的双LED光源；
13. 支持实时观测样品台X、Y、Z、轴方向上的调节；
14. 支持自动光强强度调节；
15. 全自动样品台支持150mm样品大小；
16. PC要具备多核处理器和支持64位软件；
17. 支持无缝拼接，可以把成千上万个数据拼接成一张连续的图像；
