溧阳真空计价格 真空规管 385 Convectron ATM
价格:1000.00起
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行 业:机械 泵 真空泵
发布时间:2021-04-22
MAG050 MAG060 冷阴极测量仪 - 被动
INFICON 被动冷阴极测量仪头 MAG050 和 MAG060 设计为搭配 INFICON 真空计控制器 VGC083C 使用。它们采用紧凑型金属设计,造就了适用于众多工业应用的简单而坚固的仪表。测量仪头 MAG050 采用橡胶内部密封圈,而 MAG060 测量仪头 使用金属密封圈,使压力测量处于 UHV 范围内。测量仪头组件易于拆卸和清洁,确保在长期使用中尽量减少停机时间。阳极上安装的测量仪头点火装置可缩短开启冷阴极测量仪头所需的时间。MAG050 可测量的压力低至 2 x 10-9 mbar,而 MAG060 能够测量低至 1 x 10-10 mbar 的压力。MAG050 的烘烤温度可高达 150 ℃,主要适用于不同的工业应用。MAG060 的烘烤温度可高达 250 ℃ 并能防辐射,凭借这一优势,它非常适合研发应用。
已获 CSA C/US 批准
标准模拟输出
对数线性范围为 2.5 至 9.125 V (1 V/decade)
与我们的 ADC、AGD 和 TIC 控制器兼容
校准数据保持在管件中
管件发货时已预先校准
便于在狭窄空间中安装
在整个测量范围内可以在任何方向上保持精度
皮拉尼B-A型复合真空计
INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计,BPG400,BPG402-S将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中(BCG450是B-A,皮拉尼,电容薄膜三证功能复合在一起),测量范围为 5×10-10mbar至大气压(3.8×10-10 Torr 至大气压)。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。
Barocel 7025M
对于需要测量却预算有限的情况,7025M是合适的量规。基于与Barocel 7000压力表相同的原理,它具有陶瓷传感技术和出色的零稳定性。是体积更小、更经济的解决方案。
Barocel 7025M
可重复的高性能,这是在广泛的应用范围内标准的仪表。7025具有很高的度,有多层内部保护; 挡板、涂层和防护装置等标准配置,具有良好的零点稳定性,以及任意方向安装。
应用
任何需要在很宽的范围内测量压力的真空系统。
对于可能要将真空计直接集成到制程控制器中的工业 OEM 而言, WRG 成为一种明智的选择。
WRG 适合在多种 HV 和 UHV 应用领域中使用。但是,如果制程在 5x10-4 和 5x10-3mbar 之间花费的时间非常多,Edwards 建议采用独立的 APG100 皮拉尼真空计和 AIM 潘宁真空计,因为这样将提高真空计在应用中的可靠性。
VSC43 1400到1 mbar Piezo 压阻规
应用实例
晶元键合是半导体技术中的一个程序步骤,是将两片晶片合到一起。在某些如封装等特定应用中该操作需要在真空环境中完成。
挑战
当低真空泵通过旁路将腔体抽到预定真空度时,系统需要非常平滑地切换到高真空泵。这样键合过程就可以在高真空环境下进行了。在抽真空过程中,需要准确地控制旁路中的压力,以避免对高真空环境产生破坏。在晶元键合过程中,腔体内的真空也需要被以确保工艺要求。
解决方案
选用一款VSC43低真空规来控制旁路循环。它的陶瓷传感器可以按要求的精度测量压力,而且产品几乎不需要维护。作为选项,也可以选用VD12真空计在测量现场直接显示测量的压力。
应用领域
设备安装工程
技术
真空泵运行控制
包装机械
工程机械
化工工艺
真空炉