3D光学轮廓仪的设备功能特色
1、 高精度、高重复性
A 采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高;
B 独特的隔振系统,能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动,消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声,保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用,获得极高的测量重复性;
2、 一体化操作的测量分析软件
A 测量与分析同界面操作,无须切换,测量数据自动统计,实现了快速批量测量的功能;
B 可视化窗口,便于用户实时观察扫描过程;
C 结合自定义分析模板的自动化测量功能,可自动完成多区域的测量与分析过程;
D 几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析功能模块齐全;
光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
3D轮廓测量仪有什么技术优势?
3D轮廓测量及分析仪可以应用于工业现场进行电池极耳焊印毛刺的形貌测量、极片分条后的波浪边测量,是高精度厚度测量设备,为测量带来便利,3D轮廓测量及分析仪使用寿命长,利用高精度2D位移传感器对被测物进行扫描,得到被测物表面轮廓相关数据后,可以对产品进行各种矫正和分析,得出需要的高度、锥度、粗糙度、平面度等物理量。大大提升了产品生产合格率,节省了生产成本。 测量原理: 利用高精度2D位移传感器对被测物进行扫描,得到被测物表面轮廓相关数据后,对其进行各种矫正和分析,得出需要的高度、锥度、粗糙度、平面度等物理量。有广泛的应用市场如:3C电子.蓝宝石玻璃粗糙度、手机金属壳模具瑕疵、手机油墨屏高度差;半导体.抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC;超精密加工.光学透镜;精密加工.发动机叶片;精密加工.金字塔型金刚石磁头;标准样块.单刻线台阶、多刻线粗糙度。
3D光学轮廓仪的应用案例:
1.3C电子.蓝宝石玻璃粗糙度、手机金属壳模具瑕疵、手机油墨屏高度差;
2.半导体.抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC
3.超精密加工.光学透镜
4.精密加工.发动机叶片
5.精密加工.金字塔型金刚石磁头
6.标准样块.单刻线台阶、多刻线粗糙度