1000目单晶硅片研磨抛光微粉批发
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行 业:超硬材料 超硬制品 研磨材料
发布时间:2021-04-17
其中我司拥有自主知识产权的MCA(平板状氧化铝研磨微粉)系列产品的专利技术,该产品填补了国内在磨料上的空白,改变了我国长期依赖进口的局面,产品稳定供应国内企业并出口美国欧洲日本、韩国,马来西亚,台湾等地。
上世纪90年代末为止,中国的板状刚玉市场一直长期被外国垄断,自己没有能力生产这种的耐火材料,因此,国内企业自然而然的使用其英文名称“Tabularcorundum”作为从国外进口该材料时的称呼。这种情况一直持续到1997年,在以张会友为首的技术人员不懈的努力下,经过上千次探索,终于成功掌握了板状刚玉的烧制技术。然而在即将进行科学技术成果的前夕,一个有意思的问题了,“Tabularcorundum”这种耐材原料,实现了国产化之后,必定会遇到对内销售上的问题,而在中国企业之间使用它的英文名称“Tabularcorundum”并不方便,因此,需要给产品起个贴切的中文名字。当时的技术团队想出了很多名字,比如“烧结刚玉”、“高温刚玉”、“结晶刚玉”,甚至是由英文直译过来的“片状氧化铝”,然而这些名称都不能的体现出这种新材料的制造工艺和特性特点。由张会友先生提出的“烧结板状刚玉”,简称“板状刚玉”,则非常有意思,名字中的“烧结”二字说的是板状刚玉的烧制过程,它需要氧化铝球在1700-1900摄氏度的高温下烧制结晶而成;而“板状”二字说的则是烧制后的成品在显微镜下的理化结构呈现结晶连接的状态;“刚玉”二字则表明了它氧化铝制品的身份。
晶体形状为六角平板状,区别于传统磨料的等体积或者球形,此形状使得磨料颗粒在研磨过程中平行于被加工工件(如半导体硅片等)表面,产生滑动的研磨效果,而非传统的磨料滚动研磨,因而不容易对工件表面产生划伤,同时因为研磨压力是均匀分布在平板颗粒表面,颗粒破碎减少,耐磨性大幅度提高,因而能提供的磨削效率,因此可减少磨片机的数量、人工和磨削时间,如显像管玻壳磨削工效能提高3-5倍;对于被磨对象来说不易划伤,合格品率可提高10%至15%,如半导体硅片,其合格品率一般能达到99%以上。质量达到或超过国外同类产品,如日本 FUJIMI公司的PWA和美国Microgrit 的WCA,但是价格只有同类产品的一半,提高了工厂的工作效率,降低了成本。
目前,人们根据氧化铝粉体的形貌特点主要合成出了球形、中空球形、花状、立方形、板状、菱形、针状或纤维状等几种氧化铝粉体形貌。它们有以下几个特点:
工艺路线:板状刚玉生产的基本过程为球磨、成球、干燥、烧结。(1)球磨。采用拜耳法轻烧氧化铝粉为原料,进行连续球磨,细度和比表面积需达到一定要求,有助于氧化铝粉的烧结与致密化。(2)成球。磨细后的粉采用成球盘或成球简成球。成型后的坯球需具有一定的强度,避免在运往干燥器的过程中破裂。针对成球过程中半成品球含水量高、易分层、干燥困难等问题进行相应的工艺优化设计,妥善解决。(3)干燥。成形后的坯球进入干燥器内,利用竖窑内的逆流热风干燥除去约15%的水分。但竖窑内的温度要严格控制,以免坯球内部产生裂纹和分层,甚至结块和堵炉等,终造成球流运行中断,干燥质量下降。(4)烧结。坯球干燥后进入竖窑。烧结温度为1900~-1950℃。通过控制竖窑内热风温度及流速,获得发育充分、烧结完全的板状刚玉结构。烧成后经过冷却、捡选(捡出过烧和欠烧制品)、检验(对烧结完全的制品进行物化指标检测)、破碎和筛分后,可以获得不同粒径尺寸的产品。
花状和立方形氧化铝粉体可以用作催化剂载体,并且在生物材料、复合材料或用作结构增强材料等方有重要的应用价值,所以无论是对其合成方法还是形貌生成机理的研究都值得进一步的探索。