大丰爱发科真空泵 GLD-N202真空泵维修
价格：1000.00起
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关 键 词：大丰爱发科真空泵
行 业：机械 泵 真空泵
发布时间：2021-04-16
ULVAC涡旋泵维修
DIS/DISL系列：DIS-90、DIS-251、DIS-501、DISL-101、DISL-502
VDN301 / VDN401 油旋片式真空泵
特长
实现了低噪音
由于彻底的低噪音设计和精密的加工，从而达到了低噪音化。
的保养、维修性能
因为能在真空泵与其他设备的连接管道不拆除的情况下，将泵的主体部分取下，所以清洗保养及油封等的更换变的非常容易。为使日常保养工作方便容易，油量确认、油补充、油更换的方向为同一操作方向。
为延长使用油的补充期，采用了1.0～2.5升可变油量方式。
能对应全压强领域的连续运转
采用高吸气压强也能稳定运转的强制供油方式。选用油雾过滤器、油回收装置及耐热密封件后，就能在大气压以下的全压强范围内连续运转。
用途
• 镀膜、溅射、离子镀。
• 气体置换、充填、真空隔热。
• 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
• 分析仪器、检漏装置。
• 真装、真空吸附。
• 搬运、真空成形、真空铸造等。
YM-RL系列罗茨泵机组
组成
YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气机组。
用途
冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。
优点
• 无油、干燥、清洁。
• 在低温领域的均热化。
• 大抽速，可以缩短排气时间。
• 优良的耐腐蚀性。
• 低噪音、低震动。
NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
• 活性气体（CVD、刻蚀等）。
• 排出非活性气体（溅射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）。
• 用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）
• 作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）。
• 冷冻干燥等水蒸气排气。
