南京磁控溅射五氧化二钽靶材定制
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行 业：冶金 有色金属 钴
发布时间：2021-04-16
【中文名称】五氧化二钽
【英文名称】tantalic oxide; tantalum pentoxide
【结构或分子式】 Ta2O5
【分子量】 441.89
【密度】8.2g/cm3
【熔点（℃）】1800
【性状】
白色斜方晶体，菱形柱状体。
【溶解情况】
溶于熔融硫酸氢钾和氢氟酸,不溶于水和其他酸。
在可见和近红外区有高的透过率和反射率 ,已应用于增透膜、激光器、光通讯、太阳能电池等元器件上。五氧化二钽膜层又具有高介电常数 ,也是制造薄膜电容器的重要材料
中国航天科工飞航技术研究院的刘华松等研究人员采取正交实验法系统地研究了离子束溅射制备的Ta2O5薄膜光学带隙，基于Cody-Lorentz介电常数物理模型，通过光谱反演计算获得薄膜的禁带宽度和Urbach带尾宽度，后得到了Ta2O5薄膜禁带宽度和Urbach带尾宽度的调整方法
Ta2O5（氧化钽）薄膜的光谱透过波段为0.3～10um，是可见光到近红外波段重要的高折射率材料之一。
