金昌真空计价格 真空规管 500 Cold Cathode
价格：1000.00起
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行 业：机械 泵 真空泵
发布时间：2021-04-15
PGE500 大气压至中真空真空计
INFICON 皮拉尼仪表增强型 500 (PGE500) 采用了市场上的数字对流增强型皮拉尼技术。由于对流的物理性质，这种皮拉尼型产品在 100 至 1000 mbar 的测量范围中可达到更高的准确度。坚固的仪表和传感器设计结合多种工厂内置功能，例如明亮、流畅而清晰的 OLED 显示器及集成键盘、RS485/RS232 数字接口和 4 种可选模拟输出信号，使得 PGE500 成为高/低拥有成本的选择。所有这些特点使该仪表适合众多需要低真空度至高真空度范围的经济型真空测量功能的应用。
INFICON CDG025D电容膜片真空计是高精度温度补偿型真空计设计用于在严酷的制造工具环境中具有稳定的性能. 的数字电子学提高真空计的性能和提供容易操作的特点如一键调零的功能和设点调整. 抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供的零点稳定性, 以及引起能达到数百万次压力循环包括大气冲击的长的使用寿命.独特的传感器屏蔽保护真空计防止过程污染. 经久耐用的机械结构和数字电子学提高EMC兼容性, 长期稳定性和温度补偿能力。
Convectron ATM模块有模拟量、RS485或DeviceNet的输出形式可选。
具有标准供电要求和输出电压的有源真空计范围的一部分，允许简单集成到使用有源皮拉尼真空计、热电偶真空计、倒磁控管真空计、应变真空计、宽量空计和电离真空计的系统中。所有这些均与 TIC 仪器控制器、多管路数字显示屏和控制器兼容
GP 390真空计的复合规管技术
以往，在宽量程范围内要进行测量需要多个传感器，多个真空系统接口，及相关电缆及电子器件。GP的Micro-lon ATM模块合并多传感器于一个微机控制设计中，减少了整体购置成本，同时提高真空测量性能。
GP将20多年成功的规管设计以及现场装机经验运用到了生产新的真空测量标准产品Micro-lon ATM模块中。宽量程、高性能，及紧凑型设计的Micro-lon ATM是您进行高真空系统压力测量的明智之选。
VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被地测量。VSR快速的响应时间以及的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎无需维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试
