ERT色散共焦测量传感器测量参杂晶片的厚度
高参杂和低参杂的硅片都能通过红外干涉传感器测量其厚度。在半导体工业中，另一个重要的质检标准是薄片的卷边和翘曲。由于硅片上的结构可能会导致其变形，这些变形量能被色散共焦测量传感器很地测量出来。
东莞市蓝海精密检测设备科技有限公司从事工业自动化生产线上高精密检测设备的研发、生产、销售、服务及产业生态圈建设维护等业务。在劳动力日益紧张的今天，我们为企业实现机器换人提供集成解决方案。
强大的工业制造依赖于三个领域：一是新型材料；二是精密制造；三是精密检测。
中国制造2025目标的实现离不开精密检测产业的发展，我们致力于成为中国的精密光学检测解决方案集成商，推动中国精密光学检测行业向更高更精密方向发展。色散共焦测量技术是一个全新的创新，色散共焦测量技术将精密光学的在线检测精度带入纳米级领域，以满足高精度、高标准、率的现代化科技需求，促进工业多领域产品的迭代和改革。我们坚持以市场为导向，技术服务为保障，发现并解决顾客痛点，以标准产品和个性化联合研发定制解决方案相结合的产品组合满足不同领域的客户需求。
蓝海人坚持“专注协作，知行合一”的经营理念，与中国制造一同扬帆远航，屹立于世界制造之林。
蓝海精密将色散共焦测量技术护航你的工业制造。
色散共焦光谱传感器主要应用领域：
色散共焦光谱传感器之 粗糙度测量
得益于纳米级精度及超好的角度特性，本同轴共焦位移传感器契合ISO25178，可用于对表面粗糙度进行高精度测量。相对于传统的接触式粗糙度仪，同轴共焦位移计以更高的速度采集粗糙度轮廓，并且对产品表面无任何损伤。
色散共焦光谱传感器之轮廓和3D形貌测量
集成于3D扫描系统上，本同轴共焦位移传感器可以提供针对负载表面形貌的2D和3D测量数据。
色散共焦光谱传感器 之透明体厚度测量
创新的同轴共焦原理使本传感器可以直接透过透明件工件的前后表面测量厚度，整个过程仅需要使用一个传感器从工件的一个侧面测量。相对于三角反射原理的激光位移传感器，本仪器因采用同轴光，从而可以更有效地测量弧工件的厚度。
色散共焦光谱传感器之 液位控制测量
优异的非接触式同轴测量，我们传感器可以检测和测量液体的水平高度
色散共焦光谱传感器在线检测
高采样频率，小尺寸体积和卡放的数据接口，使本仪器非常容易集成至在线生产和检测设备中，实现线上检测。
震动测量
由于采用超高的采样频率和超高精度,同轴传感器可以对震动物件进行测量,传感器采用的非接触设计，避免测量过程中对震动物件造成干扰，同时可以对复杂区域进行详细的测量和分析。
色散共焦测量技术在晶片的在线质量检查
半导体工业中的应用需要微米范围内的横向分辨率和亚微米范围内的纵向分辨率。 在进行在线质量检查时，色散共焦测量传感器测量晶片的厚度，在蔽光框生产中确定半导体结构，检查焊接。 此外，色散共焦测量传感器测量透明涂层，确定喷漆厚度以及实时机械和化学蚀刻过程。ERT传感器可以在酸液中以及在超真空环境内进行可靠测量
在硅片生产过程中的质量控制 许多生产工艺中都会用到层厚减薄。比如:在湿法蚀刻过程中，固体的材料通过化学溶液被转化成液体化合物。在检测这些工艺过程中就会用到光学传感器。色散共焦测量传感器也能检查洗涤过程判断异物是否已经从晶圆上移除。
