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关 键 词:三维表面轮廓仪制造商
行 业:仪器仪表 光学仪器 影像仪
发布时间:2021-04-11
三维表面轮廓仪的测量光斑尺寸 共聚焦效应关键的就是将反射光聚焦到针孔上,然后光感应器件接收透过针孔的光信号解析位移测量值,整个光学原理决定着测量光斑越小,系统分辨率和精度越高。欧系传感器的测量光斑都会做到对应量程的小,而日系和国产传感器因为收光能力弱,系统稳定性差,只能刻意放大测量光斑尺寸,以至于导致传感器精度严重下降,但是从分辨率上不会明显显现,其实把传感器的测量光斑做的超大就像把传感器做成了“智障”。另外,传感器的横向分辨率是测量光斑的一半,测量光斑大小会决定了传感器的横向分辨率,比如测量一个0.1mm的边沿,测量光斑小的传感器可以轻松测量到,三维表面轮廓仪测量光斑过大的传感器完全无法测量微小的区域。三维表面轮廓仪的光谱共焦位移传感器测量光斑基本在10-20um。
三维表面轮廓仪和粗糙度仪的功能差异主要在以下几个方面
1、关于三维表面轮廓仪与粗糙度仪 轮廓仪与粗糙度仪不是同一种产品,三维表面轮廓仪主要功能是测量零件表面的轮廓形状。 比如:汽车零件中的沟槽的槽深、槽宽、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圆柱表面素线的直线度等参数。总之,轮廓仪反映的是零件的宏观轮廓。
2、粗糙度仪的功能是测量零件表面的磨加工/精车加工工序的表面加工质量,通俗地讲,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老国标叫光洁度),即粗糙度反映的是零件加工表面的微观情况。 但是,按进口产品翻译过来,没有三维表面轮廓仪和轮廓仪及粗糙度仪之分,即能测量零件表面的宏观轮廓,又能测量零件表面的微观轮廓。
三维表面轮廓仪设备
三维表面轮廓仪的主要性能指标
1. 仪器类型:非接触式三维表面光学轮廓仪;
2. 仪器技术:白光色散共焦测量技术;
3. Z方向扫描范围不可小于10µm;
4. XY方向扫描范围不可小于150mm;
5. 支持样品反射率在0.05%到之间变化;
6. Z方向聚焦要不小于100mm;
7. Z方向扫描速度不能小于47µm/sec;
三维表面轮廓仪的另一种功能是非常适合光谱共焦传感器的应用是测量多层透明材料的厚度。
与其他测量方法不同,光谱共焦传感器在测量这种物体时,仅需要一支探头就可以完成测量。测量被测物体前端面和后端面的反射光,从而得到层厚信息。由于测量只使用白光,无需额外附加激光安全措施。由于探头本身不含有任何电路,三维表面轮廓仪的传感器探头还可以被用于有防爆要求的环境或者有电磁干扰要求的环境。而控制器可以被放置于安全距离以外。允许长50m的光纤连接探头和控制器。但是,需要禁止在光路上存在遮挡物或小颗粒,这会影响测量精度,甚至使测量变得不可完成。由于三维表面轮廓仪采用的是光学测量方法,探头到被测物体的距离也有一定限制。