连云港石墨靶材 昆山世高新材料科技有限公司
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关 键 词：连云港石墨靶材
行 业：冶金 铁合金 磷铁
发布时间：2021-04-08
用激光拉曼谱和原子力显微镜等现代分析手段研究了磁控溅射石墨靶制备的薄膜的结构和特性。
适用设备： 应用于各种单靶溅射系统，多靶溅射系统，离子溅射系统等磁控溅射设备。
原料成分分析：
通过 ICP设备检测分析，杂质元素含量，确保纯度达标；通过XRD检测粉末成分，是否成相等 情况。
为避免在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧，有必要阶段性的除去溅射轨道中间及两侧堆积的溅射物，这也有助于用户可以连续以功率密度进行溅射。
