ERT光谱共焦传感器可测量玻璃及透明镜片
镜片阵列
★ 3D表面形貌
★ 表面缺陷
★ 曲率半径
曲面玻璃盖板
★ 长宽高
★ R角
★ 2D轮廓
★ 平面度
3D玻璃加工难点解决方案
相传在几千年以前,古罗马学者普里尼,在他的毕生巨著《自然史》中,记载了善于航海的腓尼基人次见到这种美观而又稀奇的东西——玻璃。
随着柔性AMOLED、5G时代的来临,3D曲面造型及玻璃材质将成为手机的标准配置。
主流微观几何测量功能
★ 利用同轴光在表面聚焦,解决透明、反光表面测量难题
★ 高亮度白光LED光源经黑色表面返回更多测量信号
★ 测量范围小至集成电路,大至手机屏
★ 高±42.5°大角度表面测量能力,获取更多极限和边缘处数据
光谱共焦传感器的应用测量案例
光学镜片
★ 3D表面形貌
★ 粗糙度
★ 表面缺陷与瑕疵
★ 曲率半径
★ 3D表面形貌
★ 表面粗糙度
★ 药物涂层厚度
光谱共焦位移传感器的标注说明:
(1)光谱共焦位移传感器的数据在配置PRIMA控制器情况下得出;
(2)光谱共焦位移传感器的量程数值为配置特定控制器得出,在一般情况下可适当调整量程,但可能会影响测量性能;
(3)工作距离是指测量头顶端与量程起始点距离,该数据在配置PRIMA控制器情况下得到,通常CL0、CL2、CL3和CL4型号可能存在±3%偏差,CL1、CL5和CL6型号可能存在±6%偏差;
(4)光谱共焦位移传感器的可测倾角是指测量镜面反射表面时的极限角度值,测量漫反射表面时该角度可达87° ;
(5)此数据为聚焦点在量程中间处计算得出,量程开始端与结束端的光斑数值存在约10%差异;
(6)光谱共焦位移传感器的横向分辨率是在测量突变光度时得到的10%-90%转换距离,该值在量程中间处测得;
(7)光量收集率是指测量同一样品情况下各个测量头收集到的能量,数据为相对单位数值。在测量高度反射样品时为了防止数据饱和,应选择低光量收集率型号测量头;在测量扩散或者低反射的样品时,为了避免较低的信噪比,应选择高光量收集率型号测量头;
(8)静态噪音(SN)是指在量程中间处测得处于完全静态的样品的RMS噪音值,表中的两个SN值包括一个未平均值和一个10次平均值。这些值为大的可接受值。该值是在测量头校准之后测的,并在出厂报告中标注。SN值决定了传感器的垂直分辨率。 (9)数据由1nm精度的编码器做比较校准,由传感器测量距离时,在整个测量范围内的大误差。此数据为校准后立即获取,该数据的设置条件为:特定测量频率,0°倾角, 内部平均10次;
(10)测量Ra的精度取决于样品特性,R表示推荐用于测量粗糙金属样品,NR表示不推荐用于测量粗糙金属样品;
(11)在厚度测量模式下,测量精度取决于样品特性。为了获得更好的厚度测量结果,应采用厚度标定方法获取样品折射系数或导入样品折射系数文件;
(12)该数据为在如下设置下获得的典型值:佳测量频率,数据无平均,样品折射系数1.5,在量程范围的中心获得;
(13)初始参数; FocalSight、FocalScan光谱共焦传感器提供纳米级、高10KHz的Z方向高度数据。 光谱共焦位移传感器配备控制器、光纤和测量头。
根据实际测量场景,光谱共焦位移传感器的控制器提供单通道、双通道和四通道选择,测量头也可依据量程和分辨率等要求进行配置。通过优化配置控制器和测量头,可为工业应用输出更为经济、性能强大和稳定的测量能力。