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关 键 词:北京销售色散光谱共焦传感器厂
行 业:仪器仪表 传感器 测距/距离传感器
发布时间:2021-04-06
光谱共焦位移传感器的功能介绍
全新技术,区别于传统三角测距法
由东莞蓝海精密提供的ERT白光同轴共焦光谱检测技术让我们进入纳米级的测量领域
产品的独特性能
1. 产品原理:全新的光谱共焦原理,可测量距离和厚度;
2. 任何材质和表面:包括镜面、玻璃、陶瓷、半导体、高光金属等表面均可进行纳米级测量;
3. 超高精度测量:小线性度可达0.03μm,高分辨率为0.3 nm;
4. 从100μm-42 mm的可选量程;
5. 超高采样频率:2K-60KHz,用于生产线,替代人工并提高合格率;
6. 测量范围极广,几乎无死角,解决激光三角法测量无法回避的因表面材质变化或倾斜而导致测量误差 等问题,大可测倾角87度;
7. 可进行透明工件(LCD、LCM、手机摄像头等)多层厚度的测量,小可测量厚度为400 nm;
8. 可用于实验室的2D轮廓测量、3D微观形貌分析、表面粗糙度测量,到工业在线检测、自动化控制等。
光谱共焦传感器是区别于普通传感器的。比如说:光谱共焦的精度比普通激光位移传感器的精度要高很多,光谱共焦的基本是纳米级的精度,而普通激光的高也是微米级的。但是光谱共焦的量程却远远小于普通激光位移传感器。
光谱共焦传感器的测量光斑尺寸 共聚焦效应关键的就是将反射光聚焦到针孔上,然后光感应器件接收透过针孔的光信号解析位移测量值,整个光学原理决定着测量光斑越小,系统分辨率和精度越高。欧系传感器的测量光斑都会做到对应量程的小,而日系和国产传感器因为收光能力弱,系统稳定性差,只能刻意放大测量光斑尺寸,以至于导致传感器精度严重下降,但是从分辨率上不会明显显现,其实把传感器的测量光斑做的超大就像把传感器做成了“智障”。另外,传感器的横向分辨率是测量光斑的一半,测量光斑大小会决定了传感器的横向分辨率,比如测量一个0.1mm的边沿,测量光斑小的传感器可以轻松测量到,测量光斑过大的传感器完全无法测量微小的区域。ERT光谱共焦位移传感器测量光斑基本在10-20um
光谱共焦传感器在运动中测量采值,可以编码器同步硬触发
光谱共焦测量技术因其的分辨率从研发之初就是作为一种扫描测量的传感器,可以实现运动中扫描测量,不是像传统激光位移传感器只能做定点高度测量。中国自动化行业的设备商因为个别家传感器自身的硬件局限还未完全实现通过在运动过程中给硬件I/O触发或者读取编码器信号的方式进行全速的运动中测量。ERT光谱共焦位移传感器拥有自己的编码器转换和分频模块,可以将编码器差分或单端信号转换成I/O触发给传感器,同时解决了软触发测量效率低、稳定性差以及同步性差的问题。