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关 键 词:泰州石墨靶
行 业:冶金 铁合金 钨铁
发布时间:2021-04-06
适用设备: 应用于各种单靶溅射系统,多靶溅射系统,离子溅射系统等磁控溅射设备。
金属材料溅射靶材是目前应用广的靶材。本公司提供的金属靶材是通过简单熔炼成形、磁悬浮熔炼、热等静压成型、冷等静压成型等不同工艺制备而成。产品纯度好,密度高,晶粒均匀细致,使用寿命长。
石墨靶材自身具有耐高温、自润滑、耐腐蚀、导电性良好等特点,用石墨做靶材,在选材上市重要的环节,根据行业的不同选用不同材质的石墨材料,然后就要考虑石墨靶材加工中的技术问题,靶材材质的要求很严格,对加工技术的要求同样是一丝不苟的。石墨靶材的精度和误差都是重要的因素。
原料成分分析:
通过 ICP设备检测分析,杂质元素含量,确保纯度达标;通过XRD检测粉末成分,是否成相等 情况。