大连高纯氮化铝靶材规格 AlN靶材
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行 业:冶金 有色金属 铜
发布时间:2021-04-06
氮化铝特性
(1)热导率高(约320W/m·K),接近BeO和SiC,是Al2O3的5倍以上;
(2)热膨胀系数(4.5×10-6℃)与Si(3.5~4×10-6℃)和GaAs(6×10-6℃)匹配;
(3)各种电性能(介电常数、介质损耗、体电阻率、介电强度)优良;
(4)机械性能好,抗折强度高于Al2O3和BeO陶瓷,可以常压烧结;
(5)纯度高;
(6)光传输特性好;
(7)无毒;
(8)可采用流延工艺制作。是一种很有前途的高功率集成电路基片和包装材料。
在半导体工业中,用氮化铝坩埚代替石英坩埚合成化稼,可以完全消除Si对化稼的污染而得到高纯产品
利用氮化铝陶瓷具有较高的室温和高温强度,膨胀系数小,导热性好的特性,可以用作高温结构件热交换器材料等
含有Si,Mg O的热压Al N制品。其导热系数达0.63W/cm.K,可以用作集成电路基板