自贡真空规 姜堰真空计 275 Mini-Convectron
价格:1000.00起
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关 键 词:自贡真空规
行 业:机械 泵 真空泵
发布时间:2021-03-26
宽范围真空计
INFICON 大量空计设计紧凑,具有的性和可靠性。四种物理技术包含了从超高真空度到大气压的完整真空范围。
通过 INFICON 皮拉尼技术,可在低和中真空范围实现经济实惠的测量。INFICON 微型电容膜片技术可在低真空范围实现测量,而超高和高真空范围则是热或冷电离技术的用武之地。
每种测量技术都可用于独立传感器或与互补测量技术结合,以在整个真空范围内获得性价比。
特点
测量范围宽,为 1333 至 3 x 10-4 mbar(1000 至 2.3 x 10-4 Torr)
对流技术的使用可确保测量精度一致(通常为 ±15%)并且可重复 (±5%),达到该领域水平
低运行成本
提供可更换的管件
GP 390真空计的复合规管技术
以往,在宽量程范围内要进行测量需要多个传感器,多个真空系统接口,及相关电缆及电子器件。GP的Micro-lon ATM模块合并多传感器于一个微机控制设计中,减少了整体购置成本,同时提高真空测量性能。
GP将20多年成功的规管设计以及现场装机经验运用到了生产新的真空测量标准产品Micro-lon ATM模块中。宽量程、高性能,及紧凑型设计的Micro-lon ATM是您进行高真空系统压力测量的明智之选。
通过降低点火后的 HT 电压以及采用低放电电流,延长了维修间隔和真空计寿命
结构极为紧凑,采用凹进式电气接头
易于维修;皮拉尼和磁控管元件均可以单独更换
综合性故障模式诊断装置
385 Convectron ATM
VSM 1000到5x10-9 mbar 皮拉尼/ 冷阴极
应用实例
在给激光谐振器的镜片做光学镀膜时,通常工艺过程中的压力需要高于2x10-3mbar。
挑战
一个合适的真空规需要满足既能够镀膜过程中的压力又能测量真空腔体中能达到的小压力10-6mbar。
我们的一个客户曾经使用一个皮拉尼/冷阴极复合的真空规,冷阴极用来小压力和工艺过程中的真空度。但由于其频繁地在1x10-3mbar之上进行操作,导致传感器快速退化。
解决方案
在VSM真空规中一个有延展范围的皮拉尼可以让冷阴极在一个非常低的压力之下运行。此外两个传感器之间的转换可以按照应用的要求而配置。现在整个镀膜过程都在皮拉尼的之下,而冷阴极就可以被节省下来了,因为它只在整个系统压力达到小压力时才会被启动。镀膜的可用性因而得到显著提高。如果想要直接在测试点检查压力值,还可以用集成了LCD显示屏的VSM。
应用领域
分析仪器
镀膜设备
工艺工程
高真空到超高真空应用的控制
溅射工艺
真空炉