来宾真空计价格 宝应真空计 385 Convectron ATM
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行 业:机械 泵 真空泵
发布时间:2021-03-26
SKY® CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar
INFICON SKY CDG160D 高温压力计是实现总压测量与控制的理想之选。CDG160D 真空计温度控制在 160 °C,具有的性能,适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质,成本效益,适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
500 Cold Cathode
应用
前级真空测量(低真空测量)
真空系统回路
电离真空计连锁应用
测真空的一般应用
应用
半导体制造设于刻蚀, CVD, PVD, ALD
数据存储和OLED,LCD制造设备
工业真空设备
混气实验设备
一般高精度压力测量
所有机组均提供用于指示低真空水平的设定点.并在获得定义的差压之间做出反应。RS485和DeviceNet机型提供有可选的显示器.可实现明亮的3位瞬时测量显示。
VSP63 1000到1 x 10-4 mbar 皮拉尼
应用实例
热敏合剂是通过短通蒸馏系统慢慢分离的。在高真空环境下蒸馏可以在相对较低的温度中进行。
挑战
待蒸馏的合剂是在一个圆柱体锅炉中加热的。该锅炉有一个热充油套管并在真空中加热。在整个蒸馏过程中内部压力必须被严格控制在10-3 mbar,并且需要被记录下来以备质量管理所需。
解决方案
紧凑型真空计VD64P常用于压力管理。可以通过两个干触开关点,控制一个真空阀和一个通风阀。搭配使用外部的真空规VSP63即可靠而又经济地实现真空控制。整个过程可以通过USB接口进行精准归档和记录。
应用领域
工业真空设备
真空炉
机械工程
分析仪器
包装机械