新技术,新可能
使用光谱共焦测量技术,可以得到超高分辨率。纳米级分辨率源于上述经过处理得到的加长光谱范围。由于采用检测焦点的颜色,得到距离信息,光谱共焦传感器可以采用非常小的测量光斑,从而允许测量非常小的被测物体。这也意味着,即使被测表面有非常轻微的划痕,也逃不过光谱共焦传感器的眼睛。
由于光谱共焦传感器的光路非常紧凑和集中,使其非常适合测量钻孔结构。而其他测量方式,如激光三角反射式测量,对于小孔往往无能为力,因为小孔形成的阴影会遮挡反射光的光路,无法进行测量。针对这种小孔测量任务,有公司推出了微型光谱共焦传感器探头。这种探头拥有仅4mm的探头直径,可以探入小孔内部进行测量。
由于测量只使用白光,无需额外附加激光安全措施。由于探头本身不含有任何电路,传感器探头还可以被用于有防爆要求的环境或者有电磁干扰要求的环境。而控制器可以被放置于安全距离以外。允许长50m的光纤连接探头和控制器。但是,需要禁止在光路上存在遮挡物或小颗粒,这会影响测量精度,甚至使测量变得不可完成。由于采用的是光学测量方法,探头到被测物体的距离也有一定限制。
色散共焦测量微透镜阵列
色散共焦测量微透镜阵列
色散共焦测量传感器能够测量微透镜的形貌从而检测出表面的缺陷。表面形貌处理对于透镜非常重要,因为它能防止透镜生成扭曲的图像以及优化透光效果。那些圆柱形、非球面形或球面形透镜阵列通常都是由折射率和透明度很高的玻璃构成。采用光谱共焦技术的非接触式测量系统在测量中不会碰到样品,能够防止触碰式测量中探针对透镜的刮伤,同时又能很方便地勾画出透镜的表面三维图像。透镜的曲率半径能够很容易地获得。色散共焦测量传感器能生成很清晰明显的3D数据。
色散共焦测量传感器的应用案例
屏幕厚度,玻璃基底上的凹坑测量
智能手机或平板电脑上那层镀过膜的、超高硬度的屏幕玻璃是通过非常精密的工艺生产出。其切割边缘需要被完全检验来判断玻璃是否能进入到下面的拼装工序中。ERT的色散共焦测量传感器能够使用不同的测头在线测量屏幕玻璃的尺寸和厚度。色散共焦传感器通过一次扫描能同时测量玻璃的翘曲度和厚度。色散共焦传感器也能测量玻璃表面那些由打磨或激光消融产生的凹坑或缺口的深度。这些凹坑会导致玻璃在往后的使用中由于受力开裂。
色散共焦光谱传感器主要应用领域:
色散共焦光谱传感器之 粗糙度测量
得益于纳米级精度及超好的角度特性,本同轴共焦位移传感器契合ISO25178,可用于对表面粗糙度进行高精度测量。相对于传统的接触式粗糙度仪,同轴共焦位移计以更高的速度采集粗糙度轮廓,并且对产品表面无任何损伤。
色散共焦光谱传感器之轮廓和3D形貌测量
集成于3D扫描系统上,本同轴共焦位移传感器可以提供针对负载表面形貌的2D和3D测量数据。
色散共焦光谱传感器 之透明体厚度测量
创新的同轴共焦原理使本传感器可以直接透过透明件工件的前后表面测量厚度,整个过程仅需要使用一个传感器从工件的一个侧面测量。相对于三角反射原理的激光位移传感器,本仪器因采用同轴光,从而可以更有效地测量弧工件的厚度。
色散共焦光谱传感器之 液位控制测量
优异的非接触式同轴测量,我们传感器可以检测和测量液体的水平高度
色散共焦光谱传感器在线检测
高采样频率,小尺寸体积和卡放的数据接口,使本仪器非常容易集成至在线生产和检测设备中,实现线上检测。
震动测量
由于采用超高的采样频率和超高精度,同轴传感器可以对震动物件进行测量,传感器采用的非接触设计,避免测量过程中对震动物件造成干扰,同时可以对复杂区域进行详细的测量和分析。