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关 键 词：无锡钨钛合金靶材厂家
行 业：冶金 有色金属 铝
发布时间：2021-03-20
氧含量是钨钛合金性能判定的一项重要指标,氧易在溅射过程中形成细小离子,削弱薄膜阻挡能力,使其使用性能变差
由于合金靶材的纯度关系到溅射薄膜的性能,靶材的纯度越高,碳杂质含量越低,加工工艺通常采用惰性气体保护降低碳杂质的影响。为实现高机械性能与工艺性能,需尽量提高合金的纯度,对碳元素含量的检测要求相应提高
以高纯度W和Ti制成的合金。常用的成分为含10%Ti的W-10Ti。......和钛粉经混合、压制和的烧结工艺或用真空热压、热等静压等工艺制成。用作超大规模集成电路薄膜工艺中的溅射靶。钨钛薄膜具有良好的导电性和耐蚀性。
钨钴钛类硬质合金是在钨钴类硬质合金的基础上适当增加一些钛化物。钛的碳化物的硬度比碳化钨更高，耐磨性也更好。这些特性使它在切削钢材等长切屑材料时的表现更为优越。类似与高速钢中碳化钨机理对硬质合金发明的奠基性贡献，同样地，我也认为钛化物的机理对于金属陶瓷(学名应为钛基硬质合金)的发明具有奠基性贡献。而今天，我们把钨钴类硬质合金和钨钴钛类硬质合金合称为钨基硬质合金(俗称“钨钢”)，它在目前是现代金属切削的不可动摇的主力。
