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关 键 词:芜湖三维表面轮廓仪型号
行 业:仪器仪表 光学仪器 影像仪
发布时间:2021-03-18
佰视特三维表面轮廓仪的操作简介
仪器仪器操作简单容易维护
★ 仅需三步设置即可一键开始测量,节约时间精力
★ 高20mm/s扫描速度,数分钟之内即可完成测量
★ 000级大理石隔振设计,隔离1Hz以上环境振动影响,测量数据更
★ XY轴提供0.1μm分辨率光栅尺反馈,数据可重复性高
三维表面轮廓仪的核心部件光谱共焦传感器的构成
三维表面轮廓仪的传感器配备控制器、光纤和测量头。根据实际测量场景,控制器提供单通道、双通道和四通道选择,测量头也可依据量程和分辨率等要求进行配置。通过优化配置控制器和测量头,可为工业应用输出更为经济、性能强大和稳定的测量能力。
PRIMA控制器
★ 1/2/4通道选择
★ 测量频率100Hz至2000Hz,10K Hz型号供选择
★ LED光源自动调节
★ 厚度校准技术
★ 数字量和模拟量输出
★ 同步读取外部数字编码器
三维表面轮廓仪纳米级分辨率与测量精度
★ 17nm垂直分辨率,获得更多表面细节
★ 高1μm横向分辨率,更多采样值带来更的分析结果
★ 高14nm测量头精度,输出可信赖的测量数据
三维表面轮廓仪纳米级分辨率与测量精度
★ 17nm垂直分辨率,获得更多表面细节
★ 高1μm横向分辨率,更多采样值带来更的分析结果
★ 高14nm测量头精度,输出可信赖的测量数据
三维表面轮廓仪的主流微观几何测量功能
★ 利用同轴光在表面聚焦,解决透明、反光表面测量难题
★ 高亮度白光LED光源经黑色表面返回更多测量信号
★ 测量范围小至集成电路,大至手机屏
★ 高±60°大角度表面测量能力,获取更多极限和边缘处数据
三维表面轮廓仪的另一种功能是非常适合光谱共焦传感器的应用是测量多层透明材料的厚度。
与其他测量方法不同,光谱共焦传感器在测量这种物体时,仅需要一支探头就可以完成测量。测量被测物体前端面和后端面的反射光,从而得到层厚信息。由于测量只使用白光,无需额外附加激光安全措施。由于探头本身不含有任何电路,三维表面轮廓仪的传感器探头还可以被用于有防爆要求的环境或者有电磁干扰要求的环境。而控制器可以被放置于安全距离以外。允许长50m的光纤连接探头和控制器。但是,需要禁止在光路上存在遮挡物或小颗粒,这会影响测量精度,甚至使测量变得不可完成。由于三维表面轮廓仪采用的是光学测量方法,探头到被测物体的距离也有一定限制。
三维表面轮廓仪的测量光斑尺寸 共聚焦效应关键的就是将反射光聚焦到针孔上,然后光感应器件接收透过针孔的光信号解析位移测量值,整个光学原理决定着测量光斑越小,系统分辨率和精度越高。欧系传感器的测量光斑都会做到对应量程的小,而日系和国产传感器因为收光能力弱,系统稳定性差,只能刻意放大测量光斑尺寸,以至于导致传感器精度严重下降,但是从分辨率上不会明显显现,其实把传感器的测量光斑做的超大就像把传感器做成了“智障”。另外,传感器的横向分辨率是测量光斑的一半,测量光斑大小会决定了传感器的横向分辨率,比如测量一个0.1mm的边沿,测量光斑小的传感器可以轻松测量到,三维表面轮廓仪测量光斑过大的传感器完全无法测量微小的区域。三维表面轮廓仪的光谱共焦位移传感器测量光斑基本在10-20um。
我们全体佰视特人恪守诚信务实的信念,愿意秉持多赢思维,实现、同仁、客户、股东及合作方共同成长、共享价值。抓住伟大时代发展机遇,勇于突破和创新,开创性地开展和完成时代赋予我们的使命。
全体佰视特同仁凭借努力践履所学,使所学终有所落实,做到“知行合一”。踏踏实实,一心一意,坚持不懈。我们始终相信只有坚信自己的目标、拥有坚定意志的人,才能真正做到“笃行”。
三维表面轮廓仪的应用领域
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
三维表面轮廓仪应用范例:
3C电子.蓝宝石玻璃粗糙度、手机金属壳模具瑕疵、手机油墨屏高度差
半导体.抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC
超精密加工.光学透镜
精密加工.发动机叶片
精密加工.金字塔型金刚石磁头
标准样块.单刻线台阶、多刻线粗糙度
三维表面轮廓仪的主要特点:
、稳定测量
★ 点、线、面三种测量模式,应对从简单到复杂的测量任务
★ 2D轮廓测量,包含长宽高、角度和台阶高度等十余项
★ 3D形貌测量,包含体积、表面积、翘曲度和腐蚀分析等
★ 符合国际ISO25178标准的面粗糙度测量分析
三维表面轮廓仪的纳米级分辨率与测量精度
★ 17nm垂直分辨率,获得更多表面细节
★ 高1μm横向分辨率,更多采样值带来更的分析结果
★ 高14nm测量头精度,输出可信赖的测量数据