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关 键 词:广西10PPM电阻公司
行 业:电气 变压器 网络变压器
发布时间:2021-03-14
薄膜集成电路是将整个电路的晶体管、二极管、电阻、电容和电感等元件以及它们之间的互连引线,全部用厚度在1微米以下的金属、半导体、金属氧化物、多种金属混合相、合金或绝缘介质薄膜,并通过真空蒸发、溅射和电镀等工艺制成的集成电路。薄膜集成电路中的有源器件,即晶体管,有两种材料结构形式:一种是薄膜场效应硫化镉或硒化镉晶体管,另一种是薄膜热电子放大器。更多的实用化的薄膜集成电路采用混合工艺,即用薄膜技术在玻璃、微晶玻璃、镀釉和抛光氧化铝陶瓷基片上制备无源元件和电路元件间的连线,再将集成电路、晶体管、二极管等有源器件的芯片和不使用薄膜工艺制作的功率电阻、大容量的电容器、电感等元件用热压焊接、超声焊接、梁式引线或凸点倒装焊接等方式,就可以组装成一块完整的集成电路。
薄膜电阻器是用类蒸发的方法将一定电阻率材料蒸镀于绝缘材料表面制成,一般这类电阻常用的绝缘材料是陶瓷基板。
电材料分类
目前,制作电阻薄膜的材料有许多,包括纯金属、金属合金、金属化合物或金属陶瓷(陶瓷和金属的组合)等,但单片模拟集成电路和薄膜混合电路中广泛使用的材料有三种:镍铬、铬硅和铬硅氧化物金属陶瓷,其中镍铬属于低阻类材料,而铬硅和铬氧化硅属于高阻类材料。按照组成材料的不同,常用薄膜类电阻材料分为三种,镍铬、铬硅和铬一氧化硅
薄膜电阻的应用:
薄膜电阻的应用广泛,对于任意面积远大于厚度的情形,比如薄膜物理或者半导体产业中,常有纳米级厚度的薄膜被沉积到晶片上,如果关心这些薄膜的电阻阻值大小时,就需使用薄膜电阻这一概念。例如,在发光二极管的制造中,二极管PN结上作为电极而沉积的金属的阻值很大程度影响了发光二极管的发光效率,因此需要小化金属半导体的79483MD,利用前面提到的四探针测量法以及传输线模型(TransmissiON Line Model)测量法,即可确定79483MD的大小和金属下方半导体层的薄膜电阻阻值。