图木舒克真空计 宝应真空计 275 Mini-Convectron
价格：1000.00起
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关 键 词：图木舒克真空计
行 业：机械 泵 真空泵
发布时间：2021-03-14
BAG050 属于 EB 脱气 UHV 祼电离真空计，能够测量低至 2 × 10-11 Torr 的压力。
应用
适用于处于 1 x 10-2 to 1 x 10-9 mbar 范围内的所有需要可靠稳定的压力指示的真空应用。
典型制程包括：
一般真空到工业镀膜机
真空炉
科学仪器
半导体等各种应用。
6个Edwards Active真空计
3个BAROCEL 7025M或7025和任意3个其他Edwards Active真空计
1个BAROCEL 7045或7100，2个BAROCEL 7025或7025M，以及任意3个其他Edwards Active真空计
紧凑型仪器
比主要竞争对手的对流真空计小很多
本地状态指示
LED 在规头指示设定点和真空计的状态
应用
任何需要在很宽的范围内测量压力的真空系统。
对于可能要将真空计直接集成到制程控制器中的工业 OEM 而言， WRG 成为一种明智的选择。
WRG 适合在多种 HV 和 UHV 应用领域中使用。但是，如果制程在 5x10-4 和 5x10-3mbar 之间花费的时间非常多，Edwards 建议采用独立的 APG100 皮拉尼真空计和 AIM 潘宁真空计，因为这样将提高真空计在应用中的可靠性。
VSM 1000到5x10-9 mbar 皮拉尼/ 冷阴极
应用实例
在给激光谐振器的镜片做光学镀膜时，通常工艺过程中的压力需要高于2x10-3mbar。
挑战
一个合适的真空规需要满足既能够镀膜过程中的压力又能测量真空腔体中能达到的小压力10-6mbar。
我们的一个客户曾经使用一个皮拉尼/冷阴极复合的真空规，冷阴极用来小压力和工艺过程中的真空度。但由于其频繁地在1x10-3mbar之上进行操作,导致传感器快速退化。
解决方案
在VSM真空规中一个有延展范围的皮拉尼可以让冷阴极在一个非常低的压力之下运行。此外两个传感器之间的转换可以按照应用的要求而配置。现在整个镀膜过程都在皮拉尼的之下，而冷阴极就可以被节省下来了，因为它只在整个系统压力达到小压力时才会被启动。镀膜的可用性因而得到显著提高。如果想要直接在测试点检查压力值，还可以用集成了LCD显示屏的VSM。
应用领域
分析仪器
镀膜设备
工艺工程
高真空到超高真空应用的控制
溅射工艺
真空炉
