浙江12um半导体晶圆片研磨抛光微粉
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关 键 词：浙江12um半导体晶圆片研磨抛光微粉
行 业：超硬材料 超硬制品 研磨材料
发布时间：2021-03-14
MCA（平板状氧化铝研磨微粉)的晶体形状为六角平板状，不同于传统磨料的等体积或者球形，此形状使磨料颗粒在研磨过程中平行于被加工工件（如半导体硅片等）表面，产生滑动的研磨效果，而非传统的磨料滚动研磨，因而不容易对工件表面产生划伤，同时因为研磨压力是均匀分布在平板颗粒表面，颗粒破碎减少，耐磨性大幅度提高，因而能提供的磨削效率和表面光洁度。质量同日本 FUJIMI公司的PWA和美国Microgrit 的WCA相当。
喷雾干燥法作为制备中空球形氧化铝粉体的有效方法，近年来得到了越来越多的重视。在喷雾干燥的干燥塔中，一粒浆滴被喷枪喷出去，在一定高度落下来，这个过程中它燥了。由于高温，浆料表面迅速干燥，表面的粘合剂和微粉颗粒合在一起形成一硬壳，封闭了球体表面，而内部水分继续迅速气化，形成球内气压。当气压达到一定时，气体从薄弱处冲破球体爆出，使球体出现了一个空洞。由于表面硬壳的强度和球内气压大小不同，其爆出力也不同，所以轻微的形成了苹果状，严重的形成了空洞状和算珠状。
中空球形粉体的颗粒上有无数的小孔，具有较大的比表面积，而催化剂载体的一个很重要的要求就是要有大的比表面积，因此这种产品可以作为一种优良的催化剂载体。
平板状氧化铝抛光研磨微粉性能指标
粒度分布表 单位微米（μm）
产品名称 dv-0值 dv-3值 dv-50值 dv-94值
超细粉体的粒径和形貌对它们的物理和化学性能有很大的影响，其形貌基本上决定了粉体的整体和表面特性。此外，粉体的结构形貌特征包括粉体的形状、化学组成、物料组成、内外表面积、体积和表面缺陷等，它们一起决定超细粉体的综合性能。
菱形氧化铝产品可用作不锈钢抛光用氧化铝，其磨削率和出光率均好于原晶呈其它形状的产品，磨粒具有自锐性，因此可作为不锈钢抛光用氧化铝。
