黄石真空规 靖江真空计 390 Micro-Ion ATM
价格：1000.00起
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关 键 词：黄石真空规
行 业：机械 泵 真空泵
发布时间：2021-03-13
Edge™ CDG045D2 1 … 1000Torr / mbar
INFICON Edge 电容膜片式真空计是专为恶劣制造环境设计的极其准确的真空测量仪表。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性，而且具有无与伦比的零位稳定性。Edge 随附 INFICON 已获专利的独特传感器屏蔽，用于保护真空计，使其免受不需要的过程副产品的影响。的电子元件能为所有应用提供范围广泛的可配置信号调节，另外还有 EtherCAT 现场总线接口可供选择。创新的加热概念能够使接触表面保持低温，并节约宝贵的工具空间。INFICON Edge 是同类产品中小的真空测量仪器。
APG100系列结构紧凑，便于安装，提供线性输出，传感器管可以更换。可以连接 Edwards 的 TIC 、ADC仪器控制器以及其他真空计控制器和显示器。还获得了 CSA, C/US 认证，因为其结构中不含铅，因此安全也符合 RoHS认证。
技术规格
BAG050，EB-除气超高压裸电离真空规，能够测量：2×10E-11至10E-3Torr。
BAG051，电阻式脱气（I2R）裸电离真空规，能够测量：4×10E-10至10E-3Torr。
BAG052和BAG053，电阻式脱气(I2R)玻璃电离真空规，能够测量：4×10E-10至10E-3Torr。
274 Bayard-Alpert（热阴极）规管的压力指示是基于气体分子电离产生的连续电流。负电子由从加热的阴极以控制良好的固定速率射出并朝着带正电的栅极（阳极）加速运动。电子进入栅极和对地连接的收集极空间内。在这个空间内电子与真空系统中的气体分子碰撞产生正离子。然后正离子被位于柱状栅极中心轴处的接地的收集极收集。在固定的灯丝对栅极的电压和电子发射电流下，压力低于10-3Torr时正离子形成率直接与分子密度（压力）相关。离子流的强度在经压力单位调校的微安计上显示出来。由于压力的指数是线性的，热阴极BA规管通常在压力低于10-3Torr时被认为进行连续的压力测量时的。
GP 390真空计的复合规管技术
以往，在宽量程范围内要进行测量需要多个传感器，多个真空系统接口，及相关电缆及电子器件。GP的Micro-lon ATM模块合并多传感器于一个微机控制设计中，减少了整体购置成本，同时提高真空测量性能。
GP将20多年成功的规管设计以及现场装机经验运用到了生产新的真空测量标准产品Micro-lon ATM模块中。宽量程、高性能，及紧凑型设计的Micro-lon ATM是您进行高真空系统压力测量的明智之选。
VSC43 1400到1 mbar Piezo 压阻规
应用实例
晶元键合是半导体技术中的一个程序步骤，是将两片晶片合到一起。在某些如封装等特定应用中该操作需要在真空环境中完成。
挑战
当低真空泵通过旁路将腔体抽到预定真空度时，系统需要非常平滑地切换到高真空泵。这样键合过程就可以在高真空环境下进行了。在抽真空过程中，需要准确地控制旁路中的压力，以避免对高真空环境产生破坏。在晶元键合过程中，腔体内的真空也需要被以确保工艺要求。
解决方案
选用一款VSC43低真空规来控制旁路循环。它的陶瓷传感器可以按要求的精度测量压力，而且产品几乎不需要维护。作为选项，也可以选用VD12真空计在测量现场直接显示测量的压力。
应用领域
设备安装工程
技术
真空泵运行控制
包装机械
工程机械
化工工艺
真空炉
