潮州探头价格 探头 275 Mini-Convectron
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行 业:机械 泵 真空泵
发布时间:2021-03-13
BCG450 大气压至超高真空三合一真空计
INFICON Bayard-Alpert Pirani 电容式隔膜真空计 (Triple-Gauge™) BCG450 将不同技术的优势融合在一个体积小、价格低的规管中,可以测量从 5×10-10 至 1500 mbar(3.75×10-10 至 1125 Torr)的过程压力和基本压。BCG450 的设计旨在替代三个传感器(热电离、加强对流 Prani 和真空开关),因而节省了成本和宝贵的工具空间。
INFICON MPG500倒置磁控管真空计是所有真空测量应用明智的选择。MPG500将两个传感器系统整合在一个小装置中,测量范围从大气压至 1x10E–9毫巴。获得专利的杂散磁场设计为全新的应用领域开启了大门。独特的可互换式双室传感器单元不用清洗并减少了维护,这使MPG500成为同类产品中很坚固和非常经济的真空计。MPG500冷阴极和组合真空计配备了完全集成的数字电子设备,使系统集成具有很强的灵活性。冷阴极和皮拉尼组合选项提供了跨越多个应用领域的无缝转换、可靠性、实用性和灵活性。
应用
ASG隔膜真空计是在需要对接近大气压的压力进行与气体无关的测量时的出色选择,十分适合于负载锁定这样的应用中。
它可用作独立的传感器,便于 OEM 和系统承建商开发灵活的低成本解决方案,满足其真空设备的需求。另外,它还可以连接到 TIC 仪器控制器,与其他很多类型的传感器结合使用,提供全面的真空仪器解决方案
宽范围电源
两个设点 (可选)
RS232 接口 (可选)
特点
方便的 ATM 和 HV 按键调整,节省空间的坚固结构,铝制外壳,任何方位安装,不锈钢的真空测量室
易于集成的对数讯号输出,10bar过压, 用螺纹连接,250°C 烘烤型选项,腐蚀性应用的镍丝,陶瓷馈入件用于极强腐蚀性的应用中(PSG510 和 PSG512)
可选设定点
RoHS 认证
应用
前级真空测量(低真空测量),真空系统回路,电离真空计连锁应用,测真空的一般应用
VSC43 1400到1 mbar Piezo 压阻规
应用实例
晶元键合是半导体技术中的一个程序步骤,是将两片晶片合到一起。在某些如封装等特定应用中该操作需要在真空环境中完成。
挑战
当低真空泵通过旁路将腔体抽到预定真空度时,系统需要非常平滑地切换到高真空泵。这样键合过程就可以在高真空环境下进行了。在抽真空过程中,需要准确地控制旁路中的压力,以避免对高真空环境产生破坏。在晶元键合过程中,腔体内的真空也需要被以确保工艺要求。
解决方案
选用一款VSC43低真空规来控制旁路循环。它的陶瓷传感器可以按要求的精度测量压力,而且产品几乎不需要维护。作为选项,也可以选用VD12真空计在测量现场直接显示测量的压力。
应用领域
设备安装工程
技术
真空泵运行控制
包装机械
工程机械
化工工艺
真空炉