宜宾真空规价格 真空规管 500 Cold Cathode
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行 业:机械 泵 真空泵
发布时间:2021-03-13
PGE300 大气压至中真空真空计
INFICON 皮拉尼测量仪加强型 300 (PGE300) 像比它更大的 brotherP GE500 一样配备了市场上的数字对流增强型皮拉尼技术。PGE300 配备与 PGE500 相同的传感器组件,以在 100 至 1000 mbar 的测量范围中获得同样高准确度的读数。PGE300 仅提供真空行业的大多数用户追求的关键内置功能,以限度地降低成本和提率。这种坚固的仪表和传感器设计结合工厂内置的清晰读数 LED 显示屏、3 种可选模拟输出信号和设定点继电器,使得 PGE300 成为所有客户的高/低拥有成本选择,而不于 OEM 客户。这些特点使该仪表适合众多需要低真空度至高真空度范围的经济型真空测量功能的应用。由于测量范围更广且准确度更高(尤其是在低压条件下),同时内置价格实惠的功能,因此在替代真空系统中的热电偶仪表时,PGE300 也是的主动真空计。
Conevctron热损失传感器提供从1X10-4托至大气压力跨越7个数量级的真空压力测量。膜片传感器技术测量真空空间内部和外部环境之间的差压,并在到达所设定的压差值时由设定点继电器激活开始工作。
应用
ATC热电偶真空计十分适合于需要使用简单可靠的真空计来测量更高压力的情况。
宽范围的真空测量,可测量2 × 10E-11Torr
成本经济、性价比高
工业标准电极电压和宽范围的发射电流:10uA至10mA
真空行业众所周知的特性特点
离子收集极良好的漏电屏蔽
耐烧型灯丝和真空行业标准接口
所有产品都可以进行EB除气,一些产品还能进行焦耳除气
应用
高真空测量
真空系统
工业镀膜设备
一般真空测量应用
VSC43 1400到1 mbar Piezo 压阻规
应用实例
晶元键合是半导体技术中的一个程序步骤,是将两片晶片合到一起。在某些如封装等特定应用中该操作需要在真空环境中完成。
挑战
当低真空泵通过旁路将腔体抽到预定真空度时,系统需要非常平滑地切换到高真空泵。这样键合过程就可以在高真空环境下进行了。在抽真空过程中,需要准确地控制旁路中的压力,以避免对高真空环境产生破坏。在晶元键合过程中,腔体内的真空也需要被以确保工艺要求。
解决方案
选用一款VSC43低真空规来控制旁路循环。它的陶瓷传感器可以按要求的精度测量压力,而且产品几乎不需要维护。作为选项,也可以选用VD12真空计在测量现场直接显示测量的压力。
应用领域
设备安装工程
技术
真空泵运行控制
包装机械
工程机械
化工工艺
真空炉