日喀则真空计 探头 390 Micro-Ion ATM
价格：1000.00起
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关 键 词：日喀则真空计
行 业：机械 泵 真空泵
发布时间：2021-03-07
SKY® CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar
INFICON SKY CDG160D 高温压力计是实现总压测量与控制的理想之选。CDG160D 真空计温度控制在 160 °C，具有的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质，成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
特点
在 10 mbar 以上压力下不受气体类型影响，在大气压力下具有高度的准确性和再现性，能够进行可靠、快速的大气压力检测，可配备钨丝 (PCG550)、镍丝 (PCG552) 或全陶瓷涂层 (PCG554) 传感器装置用于高腐蚀性应用，易于更换的即插即用式传感器与板载校准数据
皮拉尼电容膜片复合真空计
INFICON 皮拉尼电容膜片式真空计 (PCG550系列) 将皮拉尼技术与电容膜片传感器的优点复合在单一产品中。在 10 mbar 和大气压力之间的测量范围内，电容隔膜技术不受气体类型限制，能够提供高度的可靠压力测量值。
皮拉尼真空计
INFICON 皮拉尼真空计, PSG500, PSG502-S, PSG510-S 和 PSG512-S,采用的数字皮拉尼技术. 坚固的不锈钢传感器室和小型的结构使它们适用于各类真空系统.
特点
从高真空到大气压的连续压力测量
大气压端的精密的相对压力测量
不需要单独的大气压力检测开关
不需要三种不同的传感器
双电离规灯丝延长了设备的无故障运行时间
自动点亮和关闭电离规
可选远程控制设定点输出继电器
现在可更换规管组件
模拟量、RS-485或DeviceNet输出可供选择
可选LCD文本显示器
VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被地测量。VSR快速的响应时间以及的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎无需维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试
