Parylene在产品上的应用
派瑞林涂层不仅电性能和防护性能好,而且生物相溶性也好,它已通过美国FDA论证,满足美国药典生物材料VI类标准,被列为是一种可以在体内长期植入使用的生物材料。
派瑞林真空镀膜以其良好的耐腐蚀、耐,抗氧、低阻滞性、低摩擦系数及生物相容性,在国际运用的生物器材的表面涂层上,将逐步取代TiNi(镍钛)合金涂层而被列为材料。如、探针、针头、临时手术器械、导尿管、制动器及耳蜗植入器,心脏起搏器、脑电极、植入式传感器、射频治疗仪、血液分析传感器和高频手术刀等微型电子器械,已普遍选用派瑞林涂层。
Parylene在MEMS及半导体产品上的应用
Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。
Parylene能在0.2um厚时就完全没有针孔,5um时就能耐1000V以上直流击穿电压,又是摩擦系数很低的一种自润滑材料,化学惰性和阻隔性能也好,因此在微电子机械系统中,除了作电介质材料外,还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。
派珂纳米科技(苏州)有限公司是从事Parylene镀膜加工及开发生产Parylene镀膜设备的企业,公司坐落在苏州工业园区金海路17号。公司拥有万级洁净厂房,拥有真空镀膜的技术团队,拥有成熟的稳定的生产工艺及面向全球市场的运营能力。
2019年9月收购韩国PACO公司 ,该公司在韩国拥有20多年Parylene镀膜经验和派瑞林涂覆系统开发能力,所加工产品涉及到各行各业,在镀膜产品的多样化、设备结构设计、治具设计等方面拥有较大优势。
派珂纳米所加工产品涉及到航空航天、交通运输、汽车电子、消费电子、家用电器、控制系统、生物、文物保护等领域,并与国内高校研究所建立了良好的合作关系。
Parylene采用了一种独特的化学气相沉积工艺(CVD)。CVD工艺早应用于半导体工业的外延生长,整个过程是气态反应,又在真空条件下进行,因而可以获得非常均匀的涂层,达到其它方法难以实现的同形性。过程主要有三步:
1.真空130℃条件下固态派瑞林材料升华成气态。
2.真空680℃条件下,将气态双裂解成活性单体。
3.真空常温下,气态单体在基体上生长聚合。