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关 键 词：珠海原装三维表面轮廓仪
行 业：仪器仪表 光学仪器 影像仪
发布时间：2021-03-02
三维表面轮廓仪的另一种功能是非常适合光谱共焦传感器的应用是测量多层透明材料的厚度。
与其他测量方法不同，光谱共焦传感器在测量这种物体时，仅需要一支探头就可以完成测量。测量被测物体前端面和后端面的反射光，从而得到层厚信息。由于测量只使用白光，无需额外附加激光安全措施。由于探头本身不含有任何电路，三维表面轮廓仪的传感器探头还可以被用于有防爆要求的环境或者有电磁干扰要求的环境。而控制器可以被放置于安全距离以外。允许长50m的光纤连接探头和控制器。但是，需要禁止在光路上存在遮挡物或小颗粒，这会影响测量精度，甚至使测量变得不可完成。由于三维表面轮廓仪采用的是光学测量方法，探头到被测物体的距离也有一定限制。
三维表面轮廓仪在运动中测量，编码器同步硬触发特色功能
三维表面轮廓仪的光谱共焦测量技术因其的分辨率从研发之初就是作为一种扫描测量的传感器，可以实现运动中扫描测量，不是像传统激光位移传感器只能做定点高度测量。中国自动化行业的设备商因为个别家传感器自身的硬件局限还未完全实现通过在运动过程中给硬件I/O触发或者读取编码器信号的方式进行全速的运动中测量。三维表面轮廓仪光谱共焦位移传感器拥有自己的编码器转换和分频模块，可以将编码器差分或单端信号转换成I/O触发给传感器，同时解决了软触发测量效率低、稳定性差以及同步性差的问题。
三维表面轮廓仪的功能技术参数
1. Z 方向精度 < 0.01nm；
2. RMS重复性（PSI）< 0.01nm；
3. 能够提供多种FOV，从而让物镜放大倍率在5X到100X之间切换；
4. 在任何物镜倍率下都要达到亚埃级至毫米级垂直测量量程；
5. 支持高亮度的双LED光源；
6. 支持实时观测样品台X、Y、Z、轴方向上的调节；
7. 支持自动光强强度调节；
8. 全自动样品台支持150mm样品大小；
9. PC要具备多核处理器和支持64位软件；
10. 三维表面轮廓仪支持无缝拼接，可以把成千上万个数据拼接成一张连续的图像；
11. 三维表面轮廓仪支持分析参数扩展列表中自定义可视化数据，可实时进行自动数据记录和pass/fail判断；
12. 三维表面轮廓仪可自行设置数据输出的界面。
佰视特团队小伙伴是由全球的电子产品智能制造设备开发成员和欧洲光学零部件企业核心成员联合创立的企业。我们是一支拥有经验丰富、技术精湛的研发与服务团队，凭借强大的研发团队耕耘于机器视觉外观及尺寸检测多年，并在AOI检测上追求，所有设备完全自主研发并拥有知识产权。
佰视特三维表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光共焦色散技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
三维表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防、科研院所等领域中。三维表面轮廓仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
角度特性 角度特性是指可测量样品的大倾角三维表面轮廓仪都会明确标明每个测头对应的大可测倾角。针对漫反射表面共焦位移传感器测头可以达到±87°，针对镜面反射TERT共焦位移传感器各种测头基本都可以达到±20°以上。这个参数对测量非平面表面非常关键，尤其针对3D玻璃、点胶胶水及高光金属表面。日系及国产光谱共焦位移传感器因为此参数非常低，多数未明确标出。角度特性差会导致众多异形位置无常测量到。佰视特三维表面轮廓仪则不会出现以上问题
