深圳高纯金属靶 昆山世高新材料科技有限公司
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关 键 词：深圳高纯金属靶
行 业：冶金 铁合金 工业硅
发布时间：2021-03-01
金属靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。有金属类、合金类、氧化物类等等。
圆形靶材：Ф460mm×H 客户自选厚度（为国际同类产品尺寸）
如各种器件都需要起到导电作用的金属布线，例如Al 、Cu 和Ag 等已经被广泛的应用和研究。
布线金属本身易 氧化、易与周围的环境发生反应,与介质层的粘结性差,易扩散进入Si 与SiO2 等器件的衬底材料中，并且在较低的温度下会形成金属与Si 的化合物, 充当了杂质的角色,使器件的性能大幅度下降。
