北京电子屏幕净化车间工程 「河南霖硕」质量保证
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行 业：过滤 洁净室空气过滤器 洁净设备
发布时间：2021-02-28
河南霖硕空气净化设备有限公司当您准备创建净化车间的生产工艺环境时，当您希望拥有节能、环保、性价比高的洁净车间工程时，只有、全面的系统解决方案和配套才会给您带来安全可靠的保障。
集成电路无尘车间设计施工要求
集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为主要的净化设计方案。
FFU循环系统的特点是：整个洁净室由静压层、工艺层、工艺层和回风通道组成，由FFU提供循环空气的动力，将新风、循环风混合后通过超过滤器送入工艺层和工艺层，静压层相对于工艺层为负压。此外，还有生产区为集成电路制造厂务设备区域，包括电力供应、气体和化学品供应、超纯水供应等。
集成电路制造对无尘车间环境的控制有较为严格的要求。不同的工艺制程对洁净度的要求也各不相同，例如光刻要求在1级的微环境下，而化学机械研磨则只要求1000级的环境即可。
另外，集成电路制造洁净厂房对噪声、微振、照度等都有相关的规定和要求，尤其是振动的控制，在洁净室的建筑结构设计上就要有所要求。
好的洁净车间设计不仅能节省能源、降低运行成本、降低人力投入，而且可以给生产提供安全可靠的保证。在3种洁净系统中，FFU循环系统运行成本，洁净度安全性，因此集成电路洁净厂房多采用FFU循环系统。而洁净度要求越高，温湿度控制精度越高则洁净室投资和运行成本越高，因此在大环境洁净度或温湿度要求相对较低的情况下，将一些关键的工艺设备布置在较高洁净度或温湿度控制区域内是集成电路制造洁净厂房的设计趋势。
集成电路制造是高能耗的产业，而洁净空调系统的能耗则占其中的30%以上，因此节能安全的洁净室设计和各种热能回收设计将是未来的发展方向。
随着集成电路制造技术的不断升级，主流大厂已经进入了纳米时代，集成电路制造洁净厂房的设计建造和节能创新也需要不断提升，为制程产品生产提供保障。
万级微生物洁净室设计要求参考
设计在建设方提供的土建图、招标说明文件基础之上进行，依据《生物安全实验室建筑技术规范》G346-2004、《实验室 生物安全通用要求》GB19489-2004、《微生物和生物实验室生物安全通用准则》WS233-2002、《洁净厂房设计规范》G073-2001、《洁净室施工及验收规范》JGJ71-90、《通风与空调工程施工及质量验收规范》、《建筑安装工程技术操作规程通风空调》、《建筑给水排水及采暖工程施工质量验收规范》、《民用建筑电气设计规范》等规范中相关条例的规定，对实验室场地的建筑特色进行了认真分析之后，本着以人为本、方便实验操作、生物安全的设计理念，在充分满足实验场所提供的平面布局前提下完成方案设计。设计方案应集性、高安全性、实用性、经济性于一体。
一、 平面布局（一级屏障）
设计根据实验场所提供的场地空间，设计微生物实验区，以建筑面积为23m2为例。应设有一个P2主实验室,一个一更缓冲间，一个二更缓冲间，一个洗刷消毒间。
设计充分利用现有的空间，根据国家相关规范和实验场所的要求进行平面布置。考虑生物安全实验室应同时实施一级屏障和二级屏障的要求，其中一级屏障主要体现在微生物实验区的平面布置和维护结构方面，二级屏障主要体现在空调净化系统方面。在平面布置方面把和物流分隔开，防止人和物的交叉感染：实验操作人员通过一更缓冲间和二更缓冲间进入P2主实验室；实验物体通过两个互锁式传递窗进出P2主实验室，其中一个互锁式传递窗设在主实验室和准备间之间，另外一个设在主实验室和洗刷消毒室之间，保证了洁净物不受感染，同时保证了污染物尽快传进洗刷消毒室进行消毒灭菌。
整个平面布局完全能够满足国家规范及标准和实验场所终要求，而且充分利用了实验场所划分的建筑空间，按照实验室操作程序的要求配备了各种功能的房间，操作路线方便快捷，每间实验室的平面尺寸都是按照各种实验功能分配的。
二、围护结构、装潢装饰
设计上将实验室主体框架为彩钢板玻璃隔断，颜色为哑白色，彩钢厚度每面0.426，彩钢岩棉夹芯板防火等级为不燃烧；聚苯乙烯彩钢夹芯板防火等级为阻燃。隔断玻璃厚度为5；为防止沉积灰尘窗料使用R25铝合金圆弧压线；所有二维连接处的内侧均使用R50铝合金内圆角，暴露在外的二维连接线的外侧则用R100铝合金外圆角连接；彩钢板的三维连接处使用三维接点过渡，而彩钢板与墙面地面则用铝合金槽铝联接。吊顶材料亦为彩钢板。
微生物区室内地面采用进口PVC材质无缝隙焊接、具有耐腐蚀、耐磨性强、平整度好、容易清洗的特性。地面地角线用阴角铝材装饰,美观且严密性好。整体实验室通过科学设计、精心施工、将使实验室内形成坚固、无缝、平滑、美观、不反光、不积尘、不生锈、防潮、抗菌、性能优良的无菌表面和内壳，从而解决了气密性和保洁等问题。所有物料均按设计图纸在工厂加工成型，运至现场组合快速安装而成。室内所有设备均嵌入墙内，使整间实验室墙面均光滑平整无缝，防止积尘，方便清洁、消毒。
三、微生物实验室基本配置
净化实验室除了解决空气净化的问题以外，还要尽可能多的为实验工作提供方便，因此在设计上应考虑一些必备的实验室用器具。
1、互锁式传递窗：在P2实验室配有两个传递窗。保证了实验室物流的安全性。互锁式传递窗内有紫外线灯,当污染过物品拿出实验室前进行消毒.互锁式传递窗还保证了室外和室内空气的隔绝,方便了实验人员的物品传递,减少了实验人员进出实验室的次数.传递窗室内室外都可控制。
2、自动闭门器：根据国家规范要求，在洁净实验室门上安装有自动闭门器。
3、互锁门：主实验室设置一套两门互锁的电子互锁,当其中有一扇门未关时,另外一扇门将无法打开这样就对进入洁净室内的气流起到缓冲作用.互锁门还配置有应急开关,当发生意外事故时,按应急开关方便实验室人员尽快逃离现场。
4、多功能微电脑控制仪：作为实验室的总控制柜，包括温湿度调节及显示、送排风机的起停和起停的顺序、照明开关、紫外灯控制等等。温度调节显示屏可准确地显示实验室内温度,调节方便,温度误差小。
洁净室净化空态、静态、动态检测标准
术语：
在洁净厂房设计规范中G073-2001中给洁净室的三种状态做了以下定义：
空态 as-built洁净室测试
设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。
静态 at-rest
设施已经建成，生产设备已经安装，并按及工艺商同意的状态下运行，但无生产人员。
动态 operational
设施已规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。
在ISO14644中规定将洁净室检测阶段划分如下：
空态洁净室的检测——Installation qualificafion(IQ)
静态洁净室的检测——Operational qualificafion(OQ)
动态洁净室的检测——Performance qualificafion(PQ)
空态洁净室的检测(IQ)
检查空态洁净室和安装的设备是否符合设计，至少要检查下列各点：
1、洁净室设备的成套性；
2、一切能源载体和工艺介质的供应（水、电、蒸汽、压缩空气、气体等）是否符合设计；
3、公用和设备功能运转是否正确；
4、所以控制系统，，报警和警报器等的检定（检查）日期；
5、安装质量；
6、安装过滤器（终过滤器）的完整性；
7、电源和设备是否有备份，其中包括空气处理设备的风量余量；
8、压差；
9、气流特性（单向气流——流速，均匀性和气流方向）；
10、维护结构的密闭性；
11、检查循环空气与室外空气的比例是否符合设计；
12、表面洁净度；
13、包装中是否有备件。
检查HEPA（ULPA）过滤器的完整性具有重要意义，此项检查对ISO6级、ISO5级及更别的净化车间来说尤其必要。应检查表面洁净度及维护结构的密闭性（对ISO1级~ISO5级的洁净室特别重要）。
静态洁净室的检测(OQ)
本阶段的检测至少应完成下列各项工作：
1、确认洁净区划分原则是否符合要求；
2、确定洁净室在经过污染水平升高后的自净时间参数；
3、确定保持温度和相对湿度的稳定性；
4、按粒子数确定洁净度级别；
5、确定压差；
6、在必要的场所应按粒子和微生物污染水平确定表面的洁净度；
7、确定照度；
8、确定噪声级；
9、利用必要的工具目视检查气流并检查换气次数（必要时）；
10、将取得数据结果写成书面文件。
动态洁净室的检测(PQ)
为了评估动态洁净室工作的稳定性：
1、验证洁净室分割制度；
2、评估将温度和相对湿度保持在规定范围内的能力；
3、按粒子数检查洁净度级别并确定空气中的微生物浓度（必要时）；
4、验证压差；
5、按粒子数和微生物数量确定表面洁净度（必要时）；
6、检查洁净室运行文件的成套性，其中包括参数的检查方法，洁净室工作事故及采取的措施等，是否有基本的规程，如洁净室清扫、更衣、人员卫生等方面的规程等；
7、检查人员是否经过培训，是否有培训体系和相应的文件；
必要时还要检查振动强弱，空气电离程度，电磁场强度。可根据洁净室的特点改变测试的具体内容。
在使用过程中，应对洁净室的参数进行日常，要有一定的周期性，洁净室用户可根据规范文件的要求确定这种周期性检测可在洁净室工作过程中进行（重复检测）；
发生下列各项后需进行重复检测：
1、净化车间达不到给定参数的原因已消除；
2、与使用条件例如洁净室的使用有较大差异（如改变工艺流程等）；
3、空气长时间停止流通（进风）而影响洁净室工作；
4、做了影响洁净车间工作的个别维护或修理工作，如更换HEPA过滤器以后。
洁净车间净化装修平面设计依据
在洁净车间设计中，每一个设备都考虑一定地位，包括设备本身所占地位，操作地位，设备地位，设备检修拆装地位以及设备与设备、设备与建筑物的安全距离。设备布置应考虑为操作工人管理多台设备或多种设备创造条件，不宜过紧或过松，应尽量对称紧凑，排列整齐，充分利用空间。设备的自动监测仪表要集中控制，阀门控制尽量集中，便于工人操作。设备能顺利进出车间的要求，通过楼层的设备，楼面上要设置吊装孔。
考虑洁净车间设备的检修和拆卸以及运送物料所需的起重运输设备；凡笨重设备或运转时会产生剧烈振动的设备，应尽可能布置在厂房的底层，以减少厂房楼面的负荷。且剧烈振动的设备，其造作台基础不得与建筑物的柱、墙连在一起，以免影响建筑物的安全。设备布置要避开建筑物的柱子和主梁。厂房内所有操作台必须统一考虑，避免平台支柱零乱重复，影响车间美观、生产操作及检修。
洁净车间设计
1、 洁净车间布置平面图
该车间生产类别为丙类，耐火等级为二级构形式为单层框架，层高为5m；洁净控制区设吊顶；吊顶高度为2.70m；一步制粒间局部抬高至3.5m。车间内的人员和物料通过各自的专用通道进入洁净区，和物流无交叉。整个车间主要出分三处，一处是出人口，即人员由门厅经过更衣进入车间，再经过洗手、更洁净衣进入洁净生产区、手消毒；一处是原辅料人口，即原辅料经过脱外包由传递窗送入；另一处为成品出口。
车间内部布置主要有湿法制粒、干燥、整粒、总混、灌装、抛光、铝塑内包、外包等工序。
2、 洁净车间产尘的处理
发尘量大的粉碎、过筛、制粒、干燥、整粒、总混、充填等岗位，需设计必要的捕尘、除尘装置。
产尘室内同时设置回风及排风，排风系统均与相应的送风系统连锁，即排风系统只有在迭风系统运行后才能开启，避免不正确的操作，以保证洁净区相对室外正压。工序产尘时开除尘器，关闭回风；不产尘时开回风，关闭排风。
3、 车间排热、排湿及臭未处理
配浆、容器具清洗等散热、散湿量大的岗位，除设计排湿装置外，同时设置前室，以避免由于散湿和散热量大而影响相邻洁净室的操作和环境空调参数。烘房是产湿、产热较大的工序，如果将烘房排气先排至操作室内再排至室外，则会影响工作室的温湿度。将烘房室排风系统与烘箱排气系统相连，并设置三通管道阀门，阀门的开关与烘箱的排湿连锁，即排湿阀开时，排风口关。此时烘房的湿热排风不会影响烘房工作室的温度和气流组织。铝塑包装机工作时产生PVC焦臭味，故设置排风，排风口位于铝塑包装热合位置的上方。
4、 参观洁净车间走廊的设置
参观走廊的主要功能是人物流通道，同时也是保证消防安全通道畅通；使洁净区与外界有一定的缓冲，保证了生产区域的洁净；作为参观走廊，应使参观者不会影响到生产。而且洁净走廊的设置，使用暖气采暖成为可能，保护了洁净区，避免冬季内墙结露。因为洁净区靠外墙，如果不设窗，影响房间采光；若设双层窗，无论如何密闭，灰尘也要进来，窗户的清洗也成问题。因此，参观走廊的设置就显得比较重要了。
本洁净车间设计中走廊宽度设为3m，高2.7m，具体位置布局见车间平面布局图。因为，建筑物内表面即使不受碰撞也会发灰，因此要控制室内洁净度，也应考虑室内饰面材料发尘量的因素：走廊的地面选用水磨石等整体性好的材料，制作时加厚回填土，提高水泥标号，必要时还可配置钢筋，增设防水层等以防地面开裂、返潮。墙面，天棚饰面可选用乳胶漆(苯丙涂料)。
除选用发尘量小的装饰材料外，同时还要减少建筑物内表面易于积尘的部位，便于清洁也是重要的净化措施。在走廊设计中，窗户不设窗台，窗柜与墙面齐平，易积灰尘平台设15度得斜度以免灰尘积聚。墙面上墙根、路脚线等不要凸出。墙、顶、地交接处宜有一定弧度(半经为20—50)。
本公司技术力量雄厚;净化工程(产品)质量优良,服务完善。本公司专注于空气净化工程领域多年,因为,所以可靠;因为诚信,所以发展。给我一个空间,还您一洁净的世界。让我们携手,一起成长!
