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关 键 词:位移传感器
行 业:
发布时间:2007-12-12
开放式光栅尺(位移传感器、金属光栅尺、直线光栅尺)
品牌
德国 NUMERIK JENA
产品规格
光栅尺:由读头与尺带组合,用于位置量测.
读头分辨率:1um、0.5um、0.1um、0.05um.
尺带精度:±5um/m、±1um/m
光栅尺读数头
●双读数窗口,读头/接头内建分割器
●分割系数:×5(分辨率1μm)、×10(分辨率0.5μm)、×50(分辨率0.1μm)、×100(分辨率0.05μm)
光栅尺尺带
●材料:不锈钢带,热膨系数(10.5*10^-6℃^-1)
●光栅周期 20μm
●背面自粘性胶带将尺带固定于机台上读头
●标准型 LIA
双侦测单元
内建100倍信号分割功能,
●Kit L 线性测量系统
Kit L 线性测量系统,使用简便,外形小巧,适用於空间狭小的场合.
模组化设计,适合多种空间条件下之安装
Kit L由EPIFLEX量测模组,尺带,及电子元件所组成
EPIFLEX量测模组,俱有多种外型及尺寸
高度极小尺带
基本设计 :
●材料
不锈钢带,热膨系数(10.5 10-6℃-1)
●光栅周期 20μm
背面自黏性胶带将尺带固定於机件上
依应用需求,提供两种尺带:
SINGLEFLEX 尺带
尺带受机台影响,热胀冷缩,适用於:
●机台与尺带接触面之热膨胀系数接近11 10-6℃-1
●一般精度需求
DOUBLEFLEX 尺带
尺带不因机台冷缩热胀而遭拉伸或挤压,热膨胀系数固定为10.5 10 -6 ℃-1,与机台材质无关,适用於:
●机台与尺带接触面之热膨胀系数远异於 11 10-6 ℃-1
●高精度需求DOUBLEFLEX双层光栅尺带有两条钢带,其中一条为量测钢带具有光栅,另一条则为承载钢带,两条钢带间有一连结层,用来阻绝张力的转移,隔绝机台对量测钢带的影响:
●DOUBLEFLEX 双层光栅尺尺带不会因安装而造成弯曲变形,确保量测精度
●DOUBLEFLEX 双层光栅尺尺带亦不会因温度造成弯曲变形,温度变化极大时,仍可自由缩胀,不受机台影响.产品优点︰
●高达100倍之信号分割功能,内建於读头或接头上
●最高速度: 10 m/s
●最高精度: ± 1μm
●DOUBLEFLEX尺带 之热膨胀系数固定
DOUBLEFLEX弹性夹层(Elastic layer)隔离光栅与机座,栅带不受热应力(Thermal
stress)及安装变形的影响,大幅提高精度
DOUBLEFLEX热膨胀系数与钢相同
●相对於解析度而言, 具有较大的安装公差
●安装需求空间极小
●双侦测单元, 大幅提高抗污染能力
●电子信号调整功能
●使用自粘胶带,安装简易
德国JENA光栅尺抗污染能力强:
德国JENA具有独特的Dynamic offset and amplitude control技术,可以将粉尘/水/油污等污染对于光栅尺信号的影响降到最小。
德国JENA开放式光栅尺安装方便简单:
光栅尺导轨安装示意图:
德国JENA开放式光栅尺主要市场
金属加工设备 半导体设备 半导体生产与检测设备 线性马达与其他线性机构 测量机