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关 键 词:大连高纯氮化铝靶材电话
行 业:冶金 有色金属 铅
发布时间:2021-02-22
氮化铝用金属处理,能取代矾土及氧化铍用于大量电子仪器。氮化铝可通过氧化铝和碳的还原作用或直接氮化金属铝来制备。
氮化铝特性
(1)热导率高(约320W/m·K),接近BeO和SiC,是Al2O3的5倍以上;
(2)热膨胀系数(4.5×10-6℃)与Si(3.5~4×10-6℃)和GaAs(6×10-6℃)匹配;
(3)各种电性能(介电常数、介质损耗、体电阻率、介电强度)优良;
(4)机械性能好,抗折强度高于Al2O3和BeO陶瓷,可以常压烧结;
(5)纯度高;
(6)光传输特性好;
(7)无毒;
(8)可采用流延工艺制作。是一种很有前途的高功率集成电路基片和包装材料。
产品的热压温度为1800 oC,压力30时间30min.加入CaF 2可以减少AI N的摩擦系数,因此可用作潜水泵减磨零件。
在半导体工业中,用氮化铝坩埚代替石英坩埚合成化稼,可以完全消除Si对化稼的污染而得到高纯产品