3D光学轮廓仪的设备功能特色
1、 高精度、高重复性
A 采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；
B 独特的隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得极高的测量重复性；
2、 一体化操作的测量分析软件
A 测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；
B 可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；
C 结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；
D 几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析功能模块齐全；
光学3D表面轮廓仪采用了高精度扫描模块和独特的内部抗振设计，可实现高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性，诠释始终如一的测量品质；直观的操作界面，让您对操作流程一目了然，自动聚焦，助您一键实现测量过程；可视化的工作流程树，一键激活的图库管理功能，所见即所得的同步分析功能，更有一键分析功能，批量测量不用愁。
东莞市蓝海精密检测设备科技有限公司光学3D表面轮廓仪不仅可用于硅晶片、光学透镜、窗口片、蓝宝石表镜、手机屏等表面粗糙度检测仪，还可对LED衬底、红外观察窗口、超精密工件、微机电系统等进行超精密检测，在军事和民用领域都有着广泛应用。
东莞市蓝海精密检测设备科技有限公司专注于精密计量仪器和精密检测设备的技术发展，自强不息、知难而上、勇于创新，不断向各种技术壁垒、技术垄断发起挑战，用现代化的技术手段大幅提高测量效率和精度，图中国仪器技术之强大，铸中国产业提升之利器。
白光干涉3D轮廓仪的相关技术参数
主要性能指标
1. 仪器类型：非接触式光学轮廓仪；
2. 仪器技术：白光干涉技术；
3. Z方向扫描范围不可小于10µm；
4. XY方向扫描范围不可小于150mm；
5. 支持样品反射率在0.05%到之间变化；
6. Z方向聚焦要不小于100mm；
7. Z方向扫描速度不能小于47µm/sec；
8. Z 方向精度 < 0.01nm；
9. RMS重复性（PSI）< 0.01nm；
10. 能够提供多种FOV，从而让物镜放大倍率在5X到100X之间切换；
11. 在任何物镜倍率下都要达到亚埃级至毫米级垂直测量量程；
12. 支持高亮度的双LED光源；
13. 支持实时观测样品台X、Y、Z、轴方向上的调节；
14. 支持自动光强强度调节；
15. 全自动样品台支持150mm样品大小；
16. PC要具备多核处理器和支持64位软件；
17. 支持无缝拼接，可以把成千上万个数据拼接成一张连续的图像；
三维非接触式光学轮廓仪技术参数：
垂直测量范围：27mm垂直分辨率：2nm扫描速度：20mm/s横向分辨率：0.1m测量范围：150mm×150mm
产品特性：
1.采用白光轴向色像差技术，可获得纳米级的分辨率2.测量具有非破坏性，测量速度快，度高3.尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面4.不受样品反射率的影响5.不受环境光的影响6.测量简单，样品无需处理7.Z方向max测量范围为27mm8.测量范围广，可测透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…)
