光谱共焦传感器可实现纳米级测量技术
纳米级分辨率与测量精度
★ 17nm垂直分辨率，获得更多表面细节
★ 高1μm横向分辨率，更多采样值带来更的分析结果
★ 高14nm测量头精度，输出可信赖的测量数据
光谱共焦传感器的应用测量案例
光学镜片
★ 3D表面形貌
★ 粗糙度
★ 表面缺陷与瑕疵
★ 曲率半径
★ 3D表面形貌
★ 表面粗糙度
★ 药物涂层厚度
光谱共焦位移传感器的主要应用领域：
光谱共焦位移传感器的粗糙度测量
得益于纳米级精度及超好的角度特性，本同轴共焦位移传感器契合ISO25178，可用于对表面粗糙度进行高精度测量。相对于传统的接触式粗糙度仪，同轴共焦位移计以更高的速度采集粗糙度轮廓，并且对产品表面无任何损伤。
光谱共焦位移传感器的轮廓和3D形貌测量
集成于3D扫描系统上，本同轴共焦位移传感器可以提供针对负载表面形貌的2D和3D测量数据。
光谱共焦位移传感器的透明体厚度测量
创新的同轴共焦原理使本传感器可以直接透过透明件工件的前后表面测量厚度，整个过程仅需要使用一个传感器从工件的一个侧面测量。相对于三角反射原理的激光位移传感器，本仪器因采用同轴光，从而可以更有效地测量弧工件的厚度。
光谱共焦位移传感器的液位控制测量
优异的非接触式同轴测量，我们传感器可以检测和测量液体的水平高度
光谱共焦位移传感器的在线检测
高采样频率，小尺寸体积和卡放的数据接口，使本仪器非常容易集成至在线生产和检测设备中，实现线上检测。
光谱共焦位移传感器的震动测量
由于光谱共焦位移传感器采用超高的采样频率和超高精度,同轴传感器可以对震动物件进行测量,光谱共焦位移传感器采用的非接触设计，避免测量过程中对震动物件造成干扰，同时可以对复杂区域进行详细的测量和分析。
光谱共焦传感器在精密制造领域的应用
激光微纳加工
EDM电火花加工
★ 3D表面形貌
★ 槽宽 ★ 孔深 ★ 面积、体积 镭雕表面凹坑
★ 3D表面形貌 ★ 内径 ★ 深度 EDM电火花加工
★ 3D表面形貌 ★ 长宽高 ★ 表面粗糙度 ★ 槽深、槽宽
