潜江探头价格 姜堰真空计 500 Cold Cathode
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行 业:机械 泵 真空泵
发布时间:2021-02-01
SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar
INFICON SKY CDG100D 压力计是实现总压测量与控制的理想之选。CDG100D 真空计温度控制在 100 °C,具有的性能,适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 100 mTorr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的线性压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质,成本效益,适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
特点
真空压力测量至10E-9Torr
双灯丝增加设备的正常运行时间
超洁净结构在抽气过程中实现快速响应
坚固耐用的金属结构,抗射频和噪音符合CE标准
可选本地显示器有助于设置和诊断
数字接口可用于计算机控制系统
Granville Phillips Micro-ion真空规是世界上非常小的电离真空规,其压力测量基干带电电子与真空规管中气体分子碰括所产生的离子电流的量。通过多种改进,在小体积内取得了高性能。这些改进包括获得专利的双离子收集极设计,可以优化电子运动和离子收集。双灯丝限度地减少了计划外停机。由于有第二根灯丝做规管可以工作到定期维护时再更换。超清洁结构(包括所有组件的真空烧制和在洁净度100级的洁净室环境中的组装)确保在真空室抽气的过程中快速、可重复的响应。
特点
采用点矩阵菜单引导方式显示参数、传感器或一般设置,操作简便
显示屏明亮清晰,远距离仪表读数无障碍
设定点或压力相对于时间的条形图显示
USB 端口和 USB 插口(前端)实现数据记录和参数记录
Ethernet 接口
可在线或使用 USB 进行固件升级
每个通道拥有两个可自由定义的设定点,设定点带可调迟滞功能
高分辨率 - 16 位 A/D 转换器
应用
高真空压力测量
蒸发与溅射镀膜系统
全真空范围内的一般真空测量和控制
VD85 1200到5 x 10-4 mbar 压阻/皮拉尼复合传感器
应用实例
真空泵的系统性维护和维修能够帮助避免生产过程中的故障,并提高系统整体的可用性
挑战
为了真空泵的诊断和维护工作,需要纪录其达到的压值和泵的抽速特征。这些数据提供了真空泵实际运行环境和工作性能的基本信息。
解决方案
一只带有宽量程复合传感器的VD85真空计能够捕捉很多类型真空泵的压力,例如隔膜泵、涡旋泵、旋片泵等。同时,它能按照需要测量或者应客户要求纪录真空泵从大气到极限真空的整个抽真空过程。在这种情况下,真空计被用作数据记录器,在它的内存中存储测量值。通过USB接口,数据可以被传送到一台电脑上用于进一步分析和归档。
应用领域
检漏
质量保障
服务和维护
真空蒸发器
镀膜设备