咸阳探头价格 真空规管 275 Mini-Convectron
价格:1000.00起
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行 业:机械 泵 真空泵
发布时间:2021-02-01
宽范围真空计
INFICON 大量空计设计紧凑,具有的性和可靠性。四种物理技术包含了从超高真空度到大气压的完整真空范围。
通过 INFICON 皮拉尼技术,可在低和中真空范围实现经济实惠的测量。INFICON 微型电容膜片技术可在低真空范围实现测量,而超高和高真空范围则是热或冷电离技术的用武之地。
每种测量技术都可用于独立传感器或与互补测量技术结合,以在整个真空范围内获得性价比。
具有标准供电要求和输出电压的有源真空计范围的一部分,允许简单集成到使用有源皮拉尼真空计、热电偶真空计、倒磁控管真空计、应变真空计、宽量空计和电离真空计的系统中。所有这些均与 TIC 仪器控制器、多管路数字显示屏和控制器兼容
Barocel 7045/7100
使用与7025相同的测量单元,Barocel 7045、7100仪表集成了加热器来保持仪表的固定温度。应用于有严重气体凝结可能导致问题的应用。可以加热到45℃(7045)或100℃(7100)的稳定温度时,仪表中的冷凝物不会危害到控制系统。
TIC仪表控制器(D39702000)提供全面的控制和显示多达6个兼容的Edwards真空计。下面是使用单个控制器运行的各种配置
特点
电子模块与规头合并在一起,简化了系统设计并节省了宝贵的机架空间
范围广泛、符合标准的内部电源供给使用 +12 到 +32 V 的标准直流电,可承受电压波动
标准的模拟输出为 0 到 10 V 直流电,方便连接到计算机或 PLC
高精度和稳定性。精度为 ±0.2 全刻度,稳定性为 0.1% 全刻度
防腐蚀,设计坚固,暴露于真空中的材料是不锈钢 316 L 和哈氏合金 C276
机箱分级为 IP65
压力测量与气体类型完全无关,使这种真空计十分适合于使用氮气以外的气体的应用
出色的高压分辨能力,即使在接近大气压力时也能够分辨 1 mbar 的系统压力变化,使之十分适合于大型的慢抽速系统
特点
可靠,经典的规管设计
宽范围的发射电流(100μA至10mA)
可与单/双钇丝-涂层铱和双钨丝阴极组件
所有型号都可以使用EB(电子轰击)除气。
VSC43 1400到1 mbar Piezo 压阻规
应用实例
晶元键合是半导体技术中的一个程序步骤,是将两片晶片合到一起。在某些如封装等特定应用中该操作需要在真空环境中完成。
挑战
当低真空泵通过旁路将腔体抽到预定真空度时,系统需要非常平滑地切换到高真空泵。这样键合过程就可以在高真空环境下进行了。在抽真空过程中,需要准确地控制旁路中的压力,以避免对高真空环境产生破坏。在晶元键合过程中,腔体内的真空也需要被以确保工艺要求。
解决方案
选用一款VSC43低真空规来控制旁路循环。它的陶瓷传感器可以按要求的精度测量压力,而且产品几乎不需要维护。作为选项,也可以选用VD12真空计在测量现场直接显示测量的压力。
应用领域
设备安装工程
技术
真空泵运行控制
包装机械
工程机械
化工工艺
真空炉