聊城半导体单晶硅片研磨抛光微粉
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关 键 词：聊城半导体单晶硅片研磨抛光微粉
行 业：超硬材料 超硬制品 研磨材料
发布时间：2021-01-29
淄博淄川大众磨料厂(淄博众力达新材料有限责任公司）位于全国氧化铝,陶瓷生产基地---淄博，成立于1999年，二十多年来一直致力于氧化铝材料的研制与开发。
平板氧化铝可以用作增韧剂 将片状氧化铝作为第二相增韧剂加入到陶瓷中，可以起到增加裂纹偏转和桥联作用，对提高陶瓷的断裂韧性有明显的效果。采用引入平板状氧化铝晶种的方法，在热压烧结的条件下可制备出断裂强度为600MPa，断裂韧性为7.9MPa·m1/2的具有异向生长晶粒的Al203陶瓷。除了在氧化铝陶瓷中引入片状晶，在其他陶瓷的制备中加入平板状氧化铝也能很好地提高材料的性能。比如在X-sialon中加入28vol％的平板状氧化铝后，韧性可以从1. MPa·m1/2增加到4.16 MPa·m1/2，并且弹性模量也随着片晶的增加而增加；在Ti02中加入30vol％的片状氧化铝后，断裂韧性从2.4 MPa·m1/2增加到3.3 MPa·m1/2，断裂强度也从215MPa增加到265MPa。
MCA平板状氧化铝产品特别适合研磨、抛光半导体单晶多晶硅片、液晶显示器（LCD）玻璃基板、光学玻璃、水晶、硬质玻璃、显像管玻壳玻屏、石英玻璃、压电石英晶体、化合物半导体材料、轴承球、衬、蓝宝石，精密陶瓷材料、磁性材料等。同时它还可做烧结陶瓷原料、高温涂料(油漆,密封胶,化妆品)的填充材料。
MCA（平板状氧化铝研磨微粉)的晶体形状为六角平板状，不同于传统磨料的等体积或者球形，此形状使磨料颗粒在研磨过程中平行于被加工工件（如半导体硅片等）表面，产生滑动的研磨效果，而非传统的磨料滚动研磨，因而不容易对工件表面产生划伤，同时因为研磨压力是均匀分布在平板颗粒表面，颗粒破碎减少，耐磨性大幅度提高，因而能提供的磨削效率和表面光洁度。质量同日本 FUJIMI公司的PWA和美国Microgrit 的WCA相当。
平板氧化铝可以用于珠光颜料 目前使用多的珠光颜料常用云母薄片造出。但云母薄片常含有有色杂质离子，分离较为困难，且其过厚的边缘会使珠光颜料易发生散射现象，对其视觉效果造成不良的影响。 人工合成的平板状氧化铝粉体，具有云母无法获得的设计自由度和物理化学性能。在合成过程中，可以消除或控制杂质的引入，同时使产品具有狭窄的粒度和厚度分布，大的径厚比，几乎完全无色和光滑平整的表面，而且这种氧化铝在水中具有良好的分散性。因此，它是珠光颜料理想的底材。
研磨机磨板的材质对于加工不同的晶片要进行选择，普遍采用的是经工艺铸造加工的球墨铸铁板，要求磨板表面在一定厚度内的球状石墨粒度大小适中、分布均匀，磨板表面各处的硬度均匀。对于化合物半导体材料，晶片的研磨加工采用特种玻璃制造的磨板。双面研磨机的上、下两块磨板的自身平整度和相互的平行度将决定晶片研磨的平行度。
