光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据
三坐标测量机,3D光学轮廓仪与投影仪的区别
三坐标:精度较高。主要测量二维尺寸,三维尺寸都能测量,侧重点能测量三维尺寸,能测量一些空间尺寸,并且能做逆向工程。
投影仪:主要是通过光学原理,将被测量产品投影在一平面放大成像。精度没有三坐标高。
3D光学轮廓仪:侧重于一些曲面轮廓尺寸的测量。特别是对一些小特征,其它检测设备不好测量的尺寸,轮廓度就可以测量。
光学3D表面轮廓仪采用了高精度扫描模块和独特的内部抗振设计,可实现高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性,完美诠释始终如一的测量品质;直观的操作界面,让您对操作流程一目了然,自动聚焦,助您一键实现测量过程;可视化的工作流程树,一键激活的图库管理功能,所见即所得的同步分析功能,更有一键分析功能,批量测量不用愁。
东莞市蓝海精密检测设备科技有限公司光学3D表面轮廓仪不仅可用于硅晶片、光学透镜、窗口片、蓝宝石表镜、手机屏等表面粗糙度检测仪,还可对LED衬底、军用红外观察窗口、超精密工件、微机电系统等进行超精密检测,在军事和民用领域都有着广泛应用。
东莞市蓝海精密检测设备科技有限公司专注于精密计量仪器和精密检测设备的技术发展,自强不息、知难而上、勇于创新,不断向各种技术壁垒、技术垄断发起挑战,用现代化的技术手段大幅提高测量效率和精度,图中国仪器技术之强大,铸中国产业提升之利器。
3D光学轮廓仪的应用案例:
1.3C电子.蓝宝石玻璃粗糙度、手机金属壳模具瑕疵、手机油墨屏高度差;
2.半导体.抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC
3.超精密加工.光学透镜
4.精密加工.发动机叶片
5.精密加工.金字塔型金刚石磁头
6.标准样块.单刻线台阶、多刻线粗糙度