光谱共焦传感器的应用测量案例
光学镜片
★ 3D表面形貌
★ 粗糙度
★ 表面缺陷与瑕疵
★ 曲率半径
血管支架
★ 3D表面形貌
★ 表面粗糙度
★ 药物涂层厚度
光谱共焦传感器的特点：
高效、稳定测量
★ 点、线、面三种测量模式，应对从简单到复杂的测量任务
★ 2D轮廓测量，包含长宽高、角度和台阶高度等十余项
★ 3D形貌测量，包含体积、表面积、翘曲度和腐蚀分析等
★ 符合国际ISO25178标准的面粗糙度测量分析
光谱共焦传感器可实现纳米级测量技术
纳米级分辨率与测量精度
★ 17nm垂直分辨率，获得更多表面细节
★ 高1μm横向分辨率，更多采样值带来更精确的分析结果
★ 高14nm测量头精度，输出可信赖的测量数据
主流微观几何测量功能
★ 利用同轴光在表面聚焦，解决透明、反光表面测量难题
★ 高亮度白光LED光源经黑色表面返回更多测量信号
★ 测量范围小至集成电路，大至手机屏
★ 高±42.5°大角度表面测量能力，获取更多极限和边缘处数据
