光谱共焦传感器 CCS广泛应用于物体位移、振动、形变、透明体厚度等各种高精度非接触式测量。
光谱共焦传感器 CCS典型应用：
精确定位 LAMOST光纤定位，平面的定位等
旋转体跳动测量 机床主轴跳动 球面镜旋转跳动等
透明体厚度测量 玻璃厚度，透镜厚度，膜厚，水膜厚度等
轮廓/3D形貌测量 透镜轮廓扫描，磨损量测量，3D形貌扫描等
微位移振动测量 压电驱动器微位移振动测量，磁致伸缩位移，生物力学形变
光谱共焦在线检测
光谱共焦高测量速度和开放的接口，可以应用于生产线相关的检测或控制系统
色散原理具有超高的耐表面性，高光洁表面也可以稳定检测
ERT的白光光谱共焦的检测技术让我们进入纳米级的测量领域
光谱共焦产品的独特性能
1. 产品原理：全新的光谱共焦原理，可测量距离和厚度；
2. 任何材质和表面：包括镜面、玻璃、陶瓷、半导体、高光金属等表面均可进行纳米级测量；
3. 超高精度测量：小线性度可达0.03μm，高分辨率为0.3 nm；
4. 光谱共焦传感器从100μm-42 mm的可选量程；
5. 光谱共焦传感器超高采样频率：2K-60KHz，用于生产线，替代人工并提高合格率；
6. 光谱共焦传感器测量范围极广，几乎无死角，解决激光三角法测量无法回避的因表面材质变化或倾斜而导致测量误差等问题，大可测倾角87度；
7. 光谱共焦传感器可进行透明工件（LCD、LCM、手机摄像头等）多层厚度的精确测量，小可测量厚度为400 nm；
8. 光谱共焦传感器可用于实验室的2D轮廓测量、3D微观形貌分析、表面粗糙度测量，到工业在线检测、自动化控制等。
光谱共焦法
是利用波长信息测量距离的。由光源射出一束宽光谱的复色光（呈白色），通过色散镜头发生光谱色散，形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来，只有满足共焦条件的单色光，可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长，换算获得距离值。光谱共焦法的光谱共焦原理可以保证即使被测物存在倾斜或者翘曲，也可以进行高精度的测量，光谱共焦传感器的测量点不会改变。
光谱焦传感器测量技术发展历史 随着精密制造业的发展，对精密测量技术的要求越来越高。位移测量技术作为几何量精密测量的基础，不仅需要超高测量精度，而且需要对环境和材料的广泛适应性，并且逐步趋于实时、无损检测。与传统接触式测量方法相比，光谱共焦传感器传感器具有高速度，高精度，高适应性等明显优势。 1940年，眼科医生Hans Goldmann在瑞士伯尔尼发明了裂隙灯系统，用于眼科检查。这个眼科检测系统被认为是光谱共焦传感器测量系统的雏形。 1943年，Zyun Koana 发表了共聚焦传感器测量系统设计图，图中明确展示了共聚焦测量系统的传输光路。 1951年，Hiroto Naora, Koana的同事, 在科学杂志撰文描述了共聚焦分光光度法。 1955年，Marvin Minsky制造出了首台共聚焦显微镜，并于1957年申请了专利 1960年，捷克斯洛伐克查尔斯大学医学专业的Mojmír Petráň开发出了首款串联扫描光谱共焦传感器的测量系统，被认为是首款商业化的同类系统。
