吉林探头价格 靖江真空计 347 Stabil-Ion
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行 业:机械 泵 真空泵
发布时间:2021-01-25
PGE050 大气压至中真空真空计
INFICON 皮拉尼仪表增强型 050 (PGE050) 是主动对流增强型皮拉尼仪表 PGE300 和 PGE500 的被动版本。PEG050 采用相同的传感器技术,与 VGC031 和 VGC083 被动仪表控制器装置结合,可在 100 至 1000 mbar 的测量范围内获得相同的高准确度读数。由于测量范围更广且准确度更高(尤其是在低压条件下),因此 PGE050 是替代真空系统中的热电偶仪表时的。坚固的仪表和传感器设计使 PGE050 成为高/低拥有成本的选择,并且使该仪表适合众多需要低真空度至高真空度范围的经济型真空测量功能的应用。
自动识别 INFICON 主动式真空计
0-10V可编程图表记录器输出,具有对数/线性特性,既适用于单个真空计,也适用于真空计组(仅 VGC502 和 VGC503)
技术规格
BAG050,EB-除气超高压裸电离真空规,能够测量:2×10E-11至10E-3Torr。
BAG051,电阻式脱气(I2R)裸电离真空规,能够测量:4×10E-10至10E-3Torr。
BAG052和BAG053,电阻式脱气(I2R)玻璃电离真空规,能够测量:4×10E-10至10E-3Torr。
特点
可靠,经典的规管设计
宽范围的发射电流(100μA至10mA)
可与单/双钇丝-涂层铱和双钨丝阴极组件
所有型号都可以使用EB(电子轰击)除气。
INFICON MPG500倒置磁控管真空计是所有真空测量应用明智的选择。MPG500将两个传感器系统整合在一个小装置中,测量范围从大气压至 1x10E–9毫巴。获得专利的超低杂散磁场设计为全新的应用领域开启了大门。独特的可互换式双室传感器单元不用清洗并减少了维护,这使MPG500成为同类产品中很坚固和非常经济的真空计。MPG500冷阴极和组合真空计配备了完全集成的数字电子设备,使系统集成具有很强的灵活性。冷阴极和皮拉尼组合选项提供了跨越多个应用领域的无缝转换、可靠性、实用性和灵活性。
VSC43 1400到1 mbar Piezo 压阻规
应用实例
晶元键合是半导体技术中的一个程序步骤,是将两片晶片合到一起。在某些如封装等特定应用中该操作需要在真空环境中完成。
挑战
当低真空泵通过旁路将腔体抽到预定真空度时,系统需要非常平滑地切换到高真空泵。这样键合过程就可以在高真空环境下进行了。在抽真空过程中,需要准确地控制旁路中的压力,以避免对高真空环境产生破坏。在晶元键合过程中,腔体内的真空也需要被精确监控以确保工艺要求。
解决方案
选用一款VSC43低真空规来控制旁路循环。它的陶瓷传感器可以按要求的精度测量压力,而且产品几乎不需要维护。作为选项,也可以选用VD12真空计在测量现场直接显示测量的压力。
应用领域
设备安装工程
技术
真空泵运行控制
包装机械
工程机械
化工工艺
真空炉