VIEW Mirco三维光学测量仪MicroLine 300影像仪

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产品规格： 200 x 200 x 25mm

产品数量：10 个

包装说明：木箱

关 键 词：三维光学测量仪

行 业：机械 仪器仪表 测量仪器 

发布时间：2024-09-20

技术规格：

- 测量行程: 200 x 200 x 25mm (XYZ)

- 平台运行: 交叉滚轴手动同轴定位和快速释放

- 视场内的测量精度: 0.010µm (用100x物镜) 

- 特征尺寸: 视场内0.5µm - 400µm 

- FOV测量重复性: <0.010µm on wafers (用100x物镜)

<0.005µm on photomasks (用100x物镜)

- 照明: 石英卤素灯, 反射光

       自动照明

- 低噪音CCD VGA格式摄像头

- 图像处理60帧每秒

MicroLine 300的典型应用包括：

l  晶圆

l  光罩

l  MEMS

l  微型组件

测量类型:

n  关键尺寸:

线宽  Linewidth

节距  Pitch

间隙  Spacing

n  Overlay

 Multi-layer registration

Box in box

Circle

Edge roughness

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