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佰视特三维表面轮廓仪在微纳米尺度上的光学表面轮廓测量技术的领导者。佰视特生产的三维表面光学轮廓仪是目前国际上用在科学研究和工业领域先进表面轮廓测量设备，该公司在光学设计、精密机械和科学软件算法方面，拥有长期不断发展的专利技术，由于这些专门技术的应用，佰视特为生产和质量控制的研究和发展提供精密准确的全方位解决方案。佰视特在微纳米尺度上的光学表面轮廓测量技术的领导者，生产的光学轮廓仪是目前国际上用在科学研究和工业领域先进表面轮廓测量设备，该公司在光学设计、精密机械和科学软件算法方面，拥有长期不断发展的专利技术，由于这些专门技术的应用，佰视特为生产和质量控制的研究和发展提供精密准确的全方位解决方案。 ERT的表面测量系统适用于研发和生产过程控制中的定性和定量测量，其核心部件达到纳米尺度的创新的光学设计，其强大且友好的软件控制使所需获得的数据不仅速度快，而且精度高，并提供了多种不同的表面分析方法，与系统匹配的软件包含参数设定(如扫描尺寸、线数、步进、转换台速度、数据采样速度)和数据后处理功能(如Abbott-Firestone曲线、快速傅立叶变换、自相关功能、三维成像、二维切片成像等) ，可以定量地测量表面粗糙度及关键尺寸，诸如晶粒、膜厚、孔洞深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等，并计算关键部位的面积和体积等参数。 垂直测量范围：27mm 垂直分辨率：<2nm 扫描速度 1m/s 横向分辨率：5nm .三维表面轮廓仪三维表面轮廓仪之核心部件光谱共焦传感器详解： （1）数据在配置PRIMA控制器情况下得出； （2）量程数值为配置特定控制器得出，在一般情况下可适当调整量程，但可能会影响测量性能； （3）工作距离是指测量头顶端与量程起始点距离，该数据在配置PRIMA控制器情况下得到，通常CL0、CL2、CL3和CL4型号可能存在±3%偏差，CL1、CL5和CL6型号可能存在±6%偏差； （4）大可测倾角是指测量镜面反射表面时的极限角度值，测量漫反射表面时该角度可达87° ； （5）此数据为聚焦点在量程中间处计算得出，量程开始端与结束端的光斑数值存在约10%差异； （6）横向分辨率是在测量突变光度时得到的10%-90%转换距离，该值在量程中间处测得； （7）光量收集率是指测量同一样品情况下各个测量头收集到的能量，数据为相对单位数值。在测量高度反射样品时为了防止数据饱和，应选择低光量收集率型号测量头；在测量扩散或者低反射的样品时，为了避免较低的信噪比，应选择高光量收集率型号测量头； （8）静态噪音（SN）是指在量程中间处测得处于完全静态的样品的RMS噪音值，表中的两个SN值包括一个未平均值和一个10次平均值。这些值为大的可接受值。该值是在测量头校准之后测的，并在出厂报告中标注。SN值决定了传感器的垂直分辨率。 （9）数据由1nm精度的编码器做比较校准，由传感器测量距离时，在整个测量范围内的大误差。此数据为校准后立即获取，该数据的设置条件为：特定测量频率，0°倾角， 内部平均10次； （10）测量Ra的精度取决于样品特性，R表示推荐用于测量粗糙金属样品，NR表示不推荐用于测量粗糙金属样品； （11）在厚度测量模式下，测量精度取决于样品特性。为了获得更好的厚度测量结果，应采用厚度标定方法获取样品折射系数或导入样品折射系数文件； （12）该数据为在如下设置下获得的典型值：佳测量频率，数据无平均，样品折射系数1.5，在量程范围的中心获得； （13）初始参数； FocalSight、FocalScan光谱共焦传感器提供纳米级、高10KHz的Z方向高度数据。 传感器配备控制器、光纤和测量头。根据实际测量场景，控制器提供单通道、双通道和四通道选择，测量头也可依据量程和分辨率等要求进行配置。通过优化配置控制器和测量头，可为工业应用输出更为经济、性能强大和稳定的测量能力。如此在实际工业的测量应用中三维表面轮廓仪发挥着强大的量测功能作用。佰视特三维表面轮廓仪助力您前行！！！佰视特团队小伙伴是由全球著名的电子产品资深智能制造设备开发成员和欧洲知名光学零部件企业核心成员联合创立的企业。我们是一支拥有经验丰富、技术精湛的研发与服务团队，凭借强大的研发团队耕耘于机器视觉外观及尺寸检测多年，并在AOI检测上追求卓越，所有设备完全自主研发并拥有知识产权。 佰视特三维表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光共焦色散技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。 三维表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。三维表面轮廓仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。角度特性 角度特性是指可测量样品的大倾角三维表面轮廓仪都会明确标明每个测头对应的大可测倾角。针对漫反射表面共焦位移传感器测头可以达到±87°，针对镜面反射TERT共焦位移传感器各种测头基本都可以达到±20°以上。这个参数对测量非平面表面非常关键，尤其针对3D玻璃、点胶胶水及高光金属表面。日系及国产光谱共焦位移传感器因为此参数非常低，多数未明确标出。角度特性差会导致众多异形位置无法正常测量到。佰视特三维表面轮廓仪则不会出现以上问题三维表面轮廓仪之核心部件光谱共焦传感器的特性是什么？使用光谱共焦传感器的特性主要有以下使用光谱共焦测量技术，可以得到超高分辨率。纳米级分辨率源于上述经过特殊处理得到的加长光谱范围。由于采用检测焦点的颜色，得到距离信息，光谱共焦传感器可以采用非常小的测量光斑，从而允许测量非常小的被测物体。这也意味着，即使被测表面有非常轻微的划痕，也逃不过光谱共焦传感器的眼睛。由于三维表面轮廓仪光谱共焦传感器的光路非常紧凑和集中，使其非常适合测量钻孔结构。而其他测量方式，如激光三角反射式测量，对于小孔往往无能为力，因为小孔形成的阴影会遮挡反射光的光路，无法进行测量。针对这种小孔测量任务，三维表面轮廓仪的微型光谱共焦传感器探头。这种探头拥有仅4mm的探头直径，可以探入小孔内部进行测量。
