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HPG400 大气压到高真空真空计INFICON 高压热电离 Pirani真空计 HPG400 将高压热电离技术与 Pirani 传感器整合在一个体积小、价格低的规管中,可测量 2×10-6 mbar 至大气气压(1.5×10-6 Torr 至大气气压)范围内的压力。HPG400 提供高可重复性和再现性压力测量,实现精确控制镀溅过程压力。电极被碳氢化合物污染后会使X射线极限增加,这是因为在X射线轰击下污染表面会放出更多的二次电子。这种污染通常可以通过电极除气来消除。可选的输出信号,易于集成,可选大气开关、显示屏和数字接口,合规和标准:CE、EN、UL、CSA、RoHSVGC501 系列真空计控制器可与各种 INFICON 真空计一起使用,能够监测 10⁻¹⁰ 至1500 mbar(10⁻¹⁰ 至 1125 Torr)的完整真空压力范围和设定点状态并记录相关数据。特点线缆连接和真空计调整可以方便地定位,因而需要很小的空间传感器管可以加热到 150℃设定点可以调整,便于制程控制和互锁可以进行远程校准已获 CSA C/US 批准线性输出 - 每十进制 1 伏特,便于与真空控制系统连接LED 状态指示灯显示正常和故障状态可根据需要提供非标准法兰接头。VSP841/842 1000…100到1 x 10-3 mbar 被动式皮拉尼应用实例液化气储罐的真空绝缘可以保护液化气免受环境温度的影响。真空密封外壳有效隔绝了储罐和外部环境之间的热传导。挑战为确保真空绝缘的正确工作以及能够及时发现气罐或外壳中的气体泄漏,需要定期检测绝缘层中的真空状态。真空绝缘的失败将引发升温升压的一系列风险。解决方案使用搭载可拆卸传感器VSP842的VD84真空计可以便捷而快速地检查液化气罐的真空绝缘状态。每个气罐装配一个独立的传感器固定在绝缘封装装置内。真空计定期与这些真空规连接,以便检测真空的状态。应用领域服务与维护低真空泵的检测真空干燥真空离心机冷却冷冻技术