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BAG052 和 BAG053 属于电阻式脱气 (I2R) 玻璃封装电离真空计，能够测量低至 4 × 10-10 Torr 的压力。压力测量范围宽，从大气压至10E-4Torr单独校准规管保证的测量性能结构紧凑、坚固耐用，抗辐射和噪音符合CE认证数字接口可用于与计算机控制系统通讯特点真空压力测量至10E-9Torr双灯丝增加设备的正常运行时间超洁净结构在抽气过程中实现快速响应坚固耐用的金属结构，抗射频和噪音符合CE标准可选本地显示器有助于设置和诊断数字接口可用于计算机控制系统特点线缆连接和真空计调整可以方便地定位，因而需要很小的空间传感器管可以加热到 150℃设定点可以调整，便于制程控制和互锁可以进行远程校准已获 CSA C/US 批准线性输出 - 每十进制 1 伏特，便于与真空控制系统连接LED 状态指示灯显示正常和故障状态可根据需要提供非标准法兰接头。应用ATC热电偶真空计十分适合于需要使用简单可靠的真空计来测量更高压力的情况。VSC43 1400到1 mbar Piezo 压阻规应用实例晶元键合是半导体技术中的一个程序步骤，是将两片晶片合到一起。在某些如封装等特定应用中该操作需要在真空环境中完成。挑战当低真空泵通过旁路将腔体抽到预定真空度时，系统需要非常平滑地切换到高真空泵。这样键合过程就可以在高真空环境下进行了。在抽真空过程中，需要准确地控制旁路中的压力，以避免对高真空环境产生破坏。在晶元键合过程中，腔体内的真空也需要被精确监控以确保工艺要求。解决方案选用一款VSC43低真空规来控制旁路循环。它的陶瓷传感器可以按要求的精度测量压力，而且产品几乎不需要维护。作为选项，也可以选用VD12真空计在测量现场直接显示测量的压力。应用领域设备安装工程技术真空泵运行控制包装机械工程机械化工工艺真空炉
