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关 键 词:北京高纯氮化钛靶材定制
行 业:冶金 有色金属 钴
发布时间:2021-01-11
有二氮化二钛(Ti2N2)和四氮化三钛(Ti3N4)两种。二氮化二钛为固体。溶于煮沸的王水。遇到热的氢氧化钠溶液则有氨放出。四氮化三钛的性质与二氮化二钛相似。TiN在真空中加热失去氮,生成氮含量较低的氮化钛当N/Ti偏离1时,TiN中存在原子空位。这两种相的颜色和硬度相近。使用的氮化钛镀层,其中常常TiN和Ti2N两相共存,其组成比可以通过工艺调节 。此外,氮化钛膜还可用作耐腐蚀镀层、微电子器件的扩散障碍层、光学反射层等