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由于光谱共焦传感器的光路设计非常紧凑和集中，使其非常适合测量钻孔结构。而其他测量方式，如激光三角反射式测量，对于小孔往往无能为力，因为小孔形成的阴影会遮挡反射光的光路，无法进行测量。针对这种小孔测量任务，ERT公司推出了6mm微型光谱共焦传感器探头。这种探头拥有仅6mm的探头直径，可以探入小孔内部进行测量。测量多层的光谱共焦传感器：一种非常适合光谱共焦传感器的应用是测量多层透明材料的厚度。与其他测量方法不同，光谱共焦传感器在测量这种物体时，仅需要一支探头就可以完成测量。测量被测物体前端面和后端面的反射光，从而得到层厚信息。光谱共焦传感器的应用是属于高精密测量范畴，由于测量只使用白光，无需额外附加激光安全措施。由于探头本身不含有任何电路，传感器探头还可以被用于有防爆要求的环境或者有电磁干扰要求的环境。而控制器可以被放置于安全距离以外。允许长50m的光纤连接探头和控制器。但是，需要禁止在光路上存在遮挡物或小颗粒，这会影响测量精度，甚至使测量变得不可完成。由于采用的是光学测量方法，探头到被测物体的距离也有一定限制。光谱共焦传感器的测量光斑尺寸 共聚焦效应关键的就是将反射光聚焦到针孔上，然后光感应器件接收透过针孔的光信号解析位移测量值，整个光学原理决定着测量光斑越小，系统分辨率和精度越高。欧系传感器的测量光斑都会做到对应量程的极致小，而日系和国产传感器因为收光能力弱，系统稳定性差，只能刻意放大测量光斑尺寸，以至于导致传感器精度严重下降，但是从分辨率上不会明显显现，其实把传感器的测量光斑做的超大就像把传感器做成了“智障”。另外，传感器的横向分辨率是测量光斑的一半，测量光斑大小会决定了传感器的横向分辨率，比如测量一个0.1mm的边沿，测量光斑小的传感器可以轻松测量到，测量光斑过大的传感器完全无法测量微小的区域。ERT光谱共焦位移传感器测量光斑基本在10-20um
