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ULVAC罗茨泵维修PMB系列：PMB100D、PMB300D、PMB600D、PMB1200D、PMB2400DPRC系列：PRC-003A、PRC-006A、PRC-012A、PRC-018APMB-C系列：PMB-040C、PMB-060CULVAC分子泵维修UTM系列：UTM-50、UTM-150、UTM-300、UTM-500、UTM300BUTM-FH系列：UTM-6300FH、UTM-3303FH、UTM-1001FH、UTM-800FH、UTM-480FH、UTM-350FH、UTM3302FHUTM-FW系列：UTM-3301FW、UTM-2300FW、UTM-1400FW、UTM-1001FW、UTM-800FW、UTM-480FW、UTM-350FWYTP系列：YTP- 50M/SA、YTP- 150M/SA、YTP- 300M/SA、YTP- 500M/SANRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵特长NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。低噪音、低振动优良的耐腐蚀性标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。选购件可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。用途• 活性气体（CVD、刻蚀等）。• 排出非活性气体（溅射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）。• 用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）• 作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）。• 冷冻干燥等水蒸气排气。YM-RL系列罗茨泵机组组成YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、消音器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气机组。用途冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。优点• 无油、干燥、清洁。• 在低温领域的均热化。• 大抽速，可以缩短排气时间。• 优良的耐腐蚀性。• 低噪音、低震动。
