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Stripe™ CDG045Dhs 0.01 ... 1000Torr / mbar,新10mTorrINFICON Stripe 高速电容式隔膜真空计目前是快速、高度准确的真空测量仪器。响应时间不到 2 ms,配备 EtherCAT 现场总线接口,开拓了全新的应用领域。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性,而且具有无与伦比的零位稳定性。Stripe 随附 INFICON 已获专利的独特传感器屏蔽,用于保护真空计,使其免受不需要的过程副产品的影响。INFICON Stripe 使用创新的加热概念,提供冰凉的接触表面和独特的速度性能, 可实现提升的生产力, 使其成为同类产品中的真空仪器.应用基本真空测量和控制,在蒸发和溅射镀膜应用中从大气压到高真空。一般真空测量 - 工业炉、建筑玻璃、半导体、冰箱和空调。分析和研发应用 – 质谱分析、电子显微镜、、、光学和高能物理。特点在 10 mbar 以上压力下不受气体类型影响,在大气压力下具有高度的准确性和再现性,能够进行可靠、快速的大气压力检测,可配备钨丝 (PCG550)、镍丝 (PCG552) 或全陶瓷涂层 (PCG554) 传感器装置用于高腐蚀性应用,易于更换的即插即用式传感器与板载校准数据Edwards APGX-H线性对流真空计具有从 1333 到 3 x 10-4 mbar(1000 到 2.3 x 10-4 Torr)的很宽的测量范围。对流技术的使用可确保了粗真空段内的准确性和灵敏度。真空计结构紧凑,可以在任意方位安装,因此适合空间有限的情况。该真空计集成了设定点和两个 LED,LED 可指示设定点和真空计的状态。Edwards WRG宽量空计 系列从大气压到 10-9 mbar 的全量程压力测量,并且提供线性输出。紧凑型的设计,所需空间和连接硬件均减少了一半,这对很多应用来说是非常重要的优势。WRG 具有很多新颖的特点,包括新的专利放电器、按钮校准、设定点控制和全面的诊断功能。WRG 是经济高效的真空测量解决方案,支持模拟电压输出,nWRG支持RS232和RS485,可以与 Edwards TIC 真空计控制器一起使用也可以直接集成到系统控制中。VSC43 1400到1 mbar Piezo 压阻规应用实例晶元键合是半导体技术中的一个程序步骤,是将两片晶片合到一起。在某些如封装等特定应用中该操作需要在真空环境中完成。挑战当低真空泵通过旁路将腔体抽到预定真空度时,系统需要非常平滑地切换到高真空泵。这样键合过程就可以在高真空环境下进行了。在抽真空过程中,需要准确地控制旁路中的压力,以避免对高真空环境产生破坏。在晶元键合过程中,腔体内的真空也需要被精确监控以确保工艺要求。解决方案选用一款VSC43低真空规来控制旁路循环。它的陶瓷传感器可以按要求的精度测量压力,而且产品几乎不需要维护。作为选项,也可以选用VD12真空计在测量现场直接显示测量的压力。应用领域设备安装工程技术真空泵运行控制包装机械工程机械化工工艺真空炉